Na2O的含量对MoSi2Oxide系发热元件材料力学性能的影响.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 的含量对 系发热元件材料 力学性能 的影 响 王 刚 , 江 莞 , 赵 世 柯 中 国科 学院 上 海 硅 酸 盐 研 究所 高性 能 陶 瓷 和 超 微 结 构 国 家重 点实验 室 , 上 海 清 华大 学材 料 科 学与工 程 系, 北 京 摘 要 对 比了脱 处理工艺前后 含量变化对 系发热元件材料力学性 能 的影 果 , 然 含 的 低对 温 学 能影 不 , 响 研 究结 表 明 虽 量 高 发热体材料常 力 性 响 大 但是 对发 热元件材料高温力学性能有重要影 响 主要表现在 经 热处理 后脱 材料 仍拥有很 高 的强度和 韦伯分布 而 且经过真空脱 后材料 的高温蠕变特性也有 了 明显改善, 在 和 的条件下脱 材料 的蠕变速率分别是未脱 材料 的 和 以下 另 , 含 对 材料延性 性 变 温度 也 重要影 , 外 量 脆 转 有 响 脱 材料 的 较未 脱 材料升高约 关 键 词 二硅化相发热元件 韦伯分布 , 蠕变特性 中图分类号 文献标识码 引言 二硅 化钥材料在 以上 的温度领域 自身能够生 成 保护 膜而 具有优 秀 的高温抗 氧化 能力 , 并且 还 具有 良好 的导 热性 、 正 的温 度 系数和 稳 定 的 电阻特性 , 因而 作 为在大气