硒化锌基底3~12IJLm渐变折射率红外增透膜的设计.PDFVIP

维普资讯 第38卷 第2期 激 光 与 红 外 Vo1．38，No．2 2008年2月 IASER ＆ INFRARED February，2008 文章编号：1001-5078(2008)02-0177-04 ·光学薄膜与薄膜技术 · 硒化锌基底 3～12IJLm渐变折射率红外增透膜的设计 鄢秋荣 ，黄 伟 ，张云洞 (1．中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209；2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘 要：叙述 了傅里叶合成方法的原理和该方法用于ZnSe基底3—121xm红外增透膜的设计。 通过反傅里叶变换期望的光谱特性曲线得到渐变折射率膜层。用薄膜特征矩阵的方法计算细 分成很薄的多层均匀膜层的光谱透过率曲线，构造了新的Q函数和用逐次近似的方法修正膜 层的折射率轮廓图，能有效地减小与期望透射率曲线的偏差。再给膜层加上五次方多项式匹 配层与空气和基底两侧界面相匹配。所得渐变折射率增透膜在设计波段平均透射率达到 95％ 。 关键词：红外增透膜；渐变折射率薄膜；傅里叶合成法 中图分类号：0484 文献标识码 ：B TheGradient-indexThinFilm DesignofInfraredFilmson ZnSeSubstratefor3—-121an YANQiu—rong ，HUANGWei，ZHANGYun—dong (1．InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofScience，Chengdu610209，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofScience，Bering100039，China) Abstract：Inthepaper，Fourier—transform methodwasintroduceandWas usedforthedesignofinfraredfilmsonZnSe substratefor3—121xm．Therefractive—indexprofileofGradient—indexfilm wasobtainedbyinverseFouriertransfor- mationofthedesiredspectraltransmissioncurveandhtecorrespondingspectraltransmissioncurvewas evaluatedby usingconventionalmatrixmuhiplication．Thecurvewasrefinedthrough successiveapproximationandresturctured newQfunctiontoreducethedeviationsfromdesiredtransmissioncurve．Thequinticmatchinglayerswereoverlayed atbothinterfaceofairand substrate．Th eaveragetransmissionofhteGradient—indexfilm inthedesignwavelength rangeis95％ ． Keywords：infraredantireflectionfilm ；gradient—indexthinfilm ；Fourier—transfomr method 1 引 言