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薄膜型掺杂的研究进展-无机材料学报.PDF

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    薄膜型掺杂的研究进展-无机材料学报

    第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 薄膜 型掺杂 的研 究进展 叶志镇 , 张银 珠 , 徐伟 中, 吕建 国 、 浙 江 大 学硅 材 料 国家重 查 实验 室 , 杭 州 , 摘 要 是一种新 型 的 一 工族 半导体材料 具有许多优异 的性 能 但 由于 存在诸 , , 的本 征施 主 缺 如 空位 。 和 间 锌 对 主 补 用 型 多 陷 氧 隙 受 产生高度 自 偿作 天

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