bimorph变形镜10.6μm薄膜研究 10.6μm reflecting coatings on bimorph mirror.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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bimorph变形镜10.6μm薄膜研究 10.6μm reflecting coatings on bimorph mirror

第38卷第12期光电工程、，01．38．No．12 201 Dec，2011 1年12月 Opto—ElectronicEngineering 文章编号：1003—501x(20l1)12～0094—05 10．6 on Mirror pm RenectingCoatingsBimorph ZHANG YaO．pin91’2，ZHOUHon91’2，3，FANJun．qil，2，XUHon912 t、．1nsmme彰()ptics口ndEtectmnicS，Chinese 6、㈣，Chin戤 Acndemy可Sc沁nces，chengdu 2．砀PK砂￡口6D阳fo，)，D以彳却打馆印触，c强加甜P4c口咖矿幼lc卵，国印g幽610209，c而加口； 3．Grndunte Univers却cIfChineseAc口demy《sciences，Be珏ing、o0049，Ch{们、 mi肿rsbasedontheuseof actuatorsare in laser Abstract：Bimo印h piezoelectric imponantpartsome systems，such勰 1O．6 laser ordcrto arefirst pm systcm．hl depos“thebimo巾hmirror，theclampingways柚ddepositiontemperaturc t0beconSid盯edfof俩o factors modelswithdifferent FEAso胁are． clarnpingwaysofbimo劬rnj玎ordevelopedusing Ttledist曲utionofdefb咖ation柏ds订ess duet0me衄al托sid岫ls仃essarecalculated．Basedonthe ofbimo讪mi们r selectthebener t0 orderto the mirror．IIl me of rc叭lts，we clampingwaydepositbimoIph predicttcr叩eratuferising min．orsurfhceinducedt11el FEAmodeIsof mirrorswimdif．fe咖tmirrorsurf．ace by imdiation，me O．6岬laser bimorph i11cludethe silicon船d coat酣 materials，which mono—crystallineq明nzgl勰s，arcdevel叩ed∞dcalculated．Finally，the