cofe_2o_4薄膜厚度对其微结构和磁性能的影响 effects of thickness for cofe_2o_4 thin film_s on their microstructure and magnetic properties.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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cofe_2o_4薄膜厚度对其微结构和磁性能的影响 effects of thickness for cofe_2o_4 thin film_s on their microstructure and magnetic properties

第29卷第2期电子元件与材料、，01．29No．2 2010年2月 ELECTROMCC0hⅡ叼心理国iTSANDh乳蜩睫强ⅡALS Feb．20lO CoFe204薄膜厚度对其微结构和磁性能的影响张亚磊，杨成韬，于永杰，解群眺 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054) 膜．研究了薄膜厚度对其结构、形貌及磁性能的影响．结果表明：随着其厚度的增大，薄膜的结晶度变好，薄膜晶粒度逐渐增大到70am．Ms随着薄膜厚度的增大先增大后减小；凰的变化规律和版相反．当薄膜厚度为800nm时，帆达到最大值59．2 kA]m．该薄膜具有高度的平行各向异性． A·m2／kg，此时鼠最小为106．7 关键词：s01．gel旋涂法；CFO薄膜厚度；微结构；磁性能 doi：10．3969／j．issn．1001—2028．2010．02．001 中图分类号：0484 文献标识码：A 文章编号：1001．2028(2010)02．0001．03 for Effectsofthickness thinfilmsontheir and CoF％04 magneticproperties ZHANG Yalei，YANGChengtao，YU Quntiao Yon萄ie，XIE ofElectronicThinFilmsand ofElectronicScienceand of (StateKeyLaboratory IntegratedDevices，University Technology China,Chengdu610054，China) nitrateofironandcobaltasmainraw filmswere on materials，CoFe硷04(CFO)thinSi(001) Abstract：Using prepared substratesviathe method．Effectsofthicknessforthethinfilmsontheir sol-gelspin-coating and werestudied．Theresultsindicatethatwithincreaseofthe ofthethin magneticproperties thickness，thecrystaltinity filmsbetterandthe oftheCFOthinfilmsincrease tO70 increaseandthendecrease gets crystnilites graduallynnl．Msfirstly thicknessforthethinfilms．The tO rise tothe withincreaseofthe of is Ms．Ms changeregularityHc contrary up peal【value