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ECTFE–成功足迹半导体晶圆首选材料-Solvay
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Halar ECTFE
净化室排气管用涂料
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Halar ECTFE – 成功足迹
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半导体晶圆首选材料 Halar ECTFE 与 ETFE氟聚物涂层管道的性能比较
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自1990年以来, Halar ECTFE粉末涂料就已经成功应用于 ®
Halar ECTFE ETFE
排气管系统的防腐处理, 以满足FM4922防火安全标准。实
® 防火安全 优异 一般
际上, Halar ECTFE 也是首只获得FM4922认证, 并作为
臭气/烟气排气管道, 列于FM4922清单的含氟涂料。今天, 表面光滑性 优异 一般
®
Halar ECTFE成为全球数百个已经安装的废气管道系统的
抗渗透 相同 相同
一部分而得到了广泛应用。
耐化学品 相同 相同
®
另外, Halar ECTFE塑料片材也可达到FM4910和UL2360
硬度 优异 一般
®
标准, 用于防火净化室装备。而无缝Halar ECTFE粉末涂料
则成功用于超高纯水 (UPW) 系统 (即: 过滤罩盖、离子交换 粘结性能 优异 一般
床、储存容器等)。
成功应用于化工流程
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Halar ECTFE在化工应用中获得了超乎想象的成功。被广
泛应用于涂料、以及/或排气管、容器和过程设备的内衬。
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2 Halar ECTFE 净化室排气管系统用涂料
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Halar ECTFE的优异防火安全性能
为了应对整个行业对于净化室工艺设备用各种材料和零 良好的阻燃性能
部件防火安全性的担心, 所以制定了更加严苛的FM4910 ®
如下表所示, 在存在外部热源时, Halar ECTFE比其它材料
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