第二章 声表面波和器件制作2.docVIP

第二章 声表面波与器件制作 本章中，我们主要介绍声表面波(SAW)的基本特性和基本类型，压电基片的选择，叉指换能器(IDTs)的特征以及声表面波器件的制作方法。 2.1 引言 压电效应是指在晶体上施加压力时产生电势差的现象。压电晶体在外力的作用下发生形变时，某些表面会出现异号电荷，而在压电晶体上加一电场时，晶体不仅产生极化，而且会产生应变和应力。压电材料的几何应变与施加电场成比例。从1880年居里兄弟发现压电效应以来，压电学已经成为现代科学技术中的一个非常重要的领域。而作为压电学发展的一个重要分支，在二十世纪六十年代中期美国的怀特等人提出用叉指换能器在压电基片上激励和检测声表面波的方法之后，声表面波器件的研究得到了很大的发展。 2.2 SAW的介绍 在各向同性固体中传播的声波，根据质点的偏振方向可以分为两大类，一类是质点振动垂直于传播方向的波称之为横波，一类是质点振动平行于传播方向的波称之为纵波。二者的速度取决于材料的弹性常数，即 横波速度 （2.1） 纵波速度 （2.2） 各向同性材料的弹性常数，称为拉密常数；是材料密度。从式子中可以看到，横波通常要比纵波慢。 在各向异性固体材料如压电晶体中，质点振动方向和声波传播方向的关系并非如此简单。一般来说，质点振动方向既不垂直也不平行于声波传播方向，而是有三个互相垂直的偏振方式。其中偏振方向较为接近传播方向的波称为“准纵波”，两个偏振方向较为接近垂直于传播方向的偏振波称之为“准横波”。这三种波的速度各不相同，其中准纵波速度最快，而两个准横波的速度比较慢，其中较快的一个称为“准快横波”，较慢的一个称为“准慢横波”。同时波前的法线方向亦即波的相速度方向与波的能流方向并不一定相同，如图1.1所示。n为波前的法线方向rL、rs1、rs2分别为准纵波、准快横波、准慢横波的能流方向。一般来讲这三束波不共平面、OL、OS1、OS2正比于三者相速度 ADDIN EN.CITE EndNoteCiteAuthorA.A.Oliner/AuthorYear1978/YearRecNum110/RecNumDisplayText[1]/DisplayTextrecordrec-number110/rec-numberforeign-keyskey app=EN db-id=0ep0sx925efv57ewxe85xtt3xpzewpadzdv5110/key/foreign-keysref-type name=Book6/ref-typecontributorsauthorsauthorstyle face=normal font=default size=100%A/stylestyle face=normal font=default charset=134 size=100%./stylestyle face=normal font=default size=100%A/stylestyle face=normal font=default charset=134 size=100%./stylestyle face=normal font=default size=100%Oliner/style/author/authors/contributorstitlestitlestyle face=normal font=default size=100%Acoustic/stylestyle face=normal font=default charset=134 size=100% /stylestyle face=normal font=default size=100%Surface/stylestyle face=normal font=default charset=134 size=100% /stylestyle face=normal font=default size=100%Waves/style/title/titlespages331/pagesdatesyear1978/year/datespub-locationstyle face=normal font=default size=100%Berlin/stylestyle face=normal font=default charset=134 size=100%#xD;/stylestyle face=normal font=default size=100%New/stylestyle face=normal font=defaul