31压电晶体型角度微调器.doc

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2017-08-20 发布于天津
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精密微调器实现二轴联动系统精度增长的研究许吉敏张飞卫洋洋陈润霖袁小阳西安交通大学现代设计与轴承转子教育部重点实验室西安摘要控制系统的改进和摩擦副优化设计对先进二轴联动系统精度的提升效果有限本文提出通过引入精密微调器与已有的二轴系统功能并联在不干扰已有系统可靠性和大范围运动功能的前提下实现小范围内运动精度的成倍增长针对两轴垂直和两轴平行的两类二轴联动系统分别提出了压电晶体型角度微调器以实现角度精度的增长电磁液型位移微调器以实现位移精度的增长分析了它们的工作原理和作用效果原理实验和分析结果表明本文提

精密微调器实现二轴联动系统精度增长的研究许吉敏，张飞，卫洋洋，陈润霖，袁小阳* 西安交通大学现代设计与轴承转子教育部重点实验室, 西安 710049 摘要:控制系统的改进和摩擦副优化设计对先进二轴联动系统精度的提升效果有限。本文提出通过引入精密微调器与已有的二轴系统功能并联，在不干扰已有系统可靠性和大范围运动功能的前提下，实现小范围内运动精度的成倍增长。针对两轴垂直和两轴平行的两类二轴联动系统，分别提出了压电晶体型角度微调器以实现角度精度的增长、电磁液型位移微调器以实现位移精度的增长，分析了它们的工作原理和作用效果。原理实验和分析结果表明本文提出的精度增长方法能够满足目标。关键词