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复合型光子筛及其在大口径成像中的应用 composite photon sieve and its application in large aperture imaging
第37卷第4期 1光电工程 、，01．37．No．4
2010年4月 Opto-Electronic April，2010
Engineering
文章编号：1003—501X(2010)04-0088-05
复合型光子筛及其在大口径成像中的应用
潘一鸣，谢常青，贾 佳
(中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室，北京100029)
摘要：传统光子筛在大口径成像领域具有衍射效率低和制造数据量巨大的缺陷，这导致它们很难在实际应用中被
采用．本文提出了一种复合型光子筛，该复合型光子筛将普通光子筛半径的中间1／3部分用波带环来替代。仿真
结果显示，采用这种设计的光子筛不仅可以有效减小制造数据量，还能提高衍射效率。我们在成像试验中对比了
具有相同特征尺寸的普通光予筛和复合型光子筛，，结果显示复合型先予筛能够减少38％的设计数据量并且具有更
高的成像对比度。因此，这种复合型光子筛在大口径X射线成像领域中具有很好的应用前景。
关键词：衍射光学；复合型光子筛；成像；制造数据量
中图分类号：TN256 文献标志码：A
PhotonSieveandIts in
Composite ApplicationLargeApertureImaging
PAN ，
Yi-ming，XIEChang-qing，JL▲Jia
andNovelDevices
(KeyLaboratoryofNano-fabricationIntegratedTechnology，InstituteofMicroelectronics,
Chinese 100029，China)
AcademyofSciences，Beijing
sievefor oftenhaslow and sizeofGDSII makes
Abstract：Largeaperture imaging efficiency file，which
photon huge
meir difficultin sievewhich thezone totheR／3-2R／3
implementationpractice．Thecomposite compoundsplate
photon
oftheconventionalsieveis simulationresultshowsthattheelementCanreach
part photon presented．The higher
diffraction and reducetheGDSIIfilesize．Inthe conventionalsieveanda
efficiencysignificantly experiment，a photon
samefeature thatthe
sievewiththe sizeare resultshows
compositephoton designed．Th
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