光泵浦半导体激光器的发展及应用 ten years optically pumped semiconductor lasers review, state-of-the-art, and future developments.pdfVIP

!些Z塑!：三■●■国团豳盈峦豳幽幽幽 光泵浦半导体激光器的发展及应用 摘要：光泵浦半导体激光器(OPsIJs)于2001年被提出。其在光功率扩展性和稳定性、波长可选性、 可靠性以及光束质量等方面具有独特优势，并迅速在流式细胞术、共聚焦显微镜、测序分析、医学 诊断和治疗、半导体检测、图形艺术、法医学、计量学等领域得到了广泛应用。 本文将介绍OPSL的基本原理。并与离子激光器、二极管激光器和标准的固体激光器对比。还将 回顾这一新兴技术的过去10年、现状和发展趋势，尤其是波长、光功率、倍频、超窄线宽技术等方 面。此外。还将给出对OPSL主要应用领域的研究结果。 效率低、能耗高，以及与此相关的高散热、背景光 1激光器种类 放电、寿命有限和高成本等缺点。 过去的40年．激光器已成为材料加工、计量、 固体激光器可作为离子激光器的替代品。基于 检验、生物仪器、医疗等领域的一种重要工具。它 晶体工作的同体激光器具有光束质量好、光功率稳 们实现了从笨重、高功耗、复杂、敏感和昂贵到产 定和噪声低等优点。但是，早期灯泵浦(倍频)Nd：YAG 业化、强劲、免维护时长超数千小时的飞跃。 和Nd：YV04激光器虽然波长包括1064nm，561nnl． 激光器的波长覆盖红外和紫外波段，光功率从 532nm和473nm，但在体积、功耗和成本上，并不 毫瓦到千瓦。它们既可连续工作(CW)，又可以皮 比离子激光器更具吸引力。直到上世纪90年代初 秒(ps)甚至飞秒(fs)的脉冲方式工作。 期。二极管激光器和二极管泵浦同态(DPSS)激光 多年来。除倍频Nd：YAG和Nd：YVO。激光器外，器的出现才开启了一个新纪元。尽管在引入初期。 空气制冷离子激光器(氦氖，Ar离子，鼬离子， DPsS激光器对于大多数应用来说还比较昂贵。不 A卜陆混合)是唯一经济的可见激光光源。然而，氦 过，随着包括二极管泵浦源在内的激光器器件的发 nm和 氖激光器的应用受到较大的功率限制(在543 展，周体激光器迅速成为一种经济的激光光源。在 633 nm波长下仅数mW)。Ar离子激光器的某些激许多绿光激光光源应用领域，532lIFO的Nd：YAG和 射波长．如458nm、488am和514am在中等功率 Nd：YVO。激光器已经取代了514nm的Ar离子激光 范围内也成为波长标准。虽然Ar离子和融离子激 器和543nm的氦氖激光器。457nm和473nm的 光器具有多波长工作的优势，但它们存在体积庞大、 DPSS激光器也分别取代了458nm和476llm的氲离 v,rww．omeinfo．com U 2010 May 万方数据 -__—_—_础虐信息r獬 第27卷第5期 ●—●—圈囡雹琵墨墨曩■曩曩豳麽霸 ∑竺塑塑竺：曼 子激光器。DPSS激光器具有非常优良的特性，包括特的优势。然而，其光束成椭圆、存在象散、发散 小尺寸、高光束质量、稳定的功率和低噪声。然而， 角大且通常需要光束整形；激射波长、光波模式和 由于工作介质物理性质的限制。其波长只有有限的 光功率都随驱动电流变化，波长一致性也并不好。 几种选择。