光交叉连接用三维mems技术 optical cross-connector(oxc) based on 3-d mems technology.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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光交叉连接用三维mems技术 optical cross-connector(oxc) based on 3-d mems technology.pdf

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光交叉连接用三维mems技术 optical cross-connector(oxc) based on 3-d mems technology

EM 光交叉连接用三维M S技术邱祖全 (无锡市中兴光电子技术有限公司，j【荭无玛214028) Division 【摘要】随着密集波分复用[DensityWavelength Mechanical MEMS的光交叉连接结构进行了介绍，并对三维MEMS的光交叉连接结构的部分性能进行了研究和分析，最后讨论了基于三维MEMS结构的光分插复用器在全光通信网中的应用。关键词：微电子机械系统；密集波分复用；光交叉连接；光分插复用中图分类号：TN929．11 on3-DMEMS OpticalCross-Connector(OC)BasedTechnology QIUZu——quan (Wuxi TechnologyCO．，Ltd．，Wuxi214088，China) ZhongxingOptoelectronics withthe ofthe of devices Abstract：AlongrapiddevelopmenttechnologyDWDM，opticalswitching gradually becomethebottle—necktolimitthe ofcommunication based speed network．Optical the choiceasa ofthe onmicro-electromechanical arebelievedtobe first node future systems(MEMS)technology on isintroducedin architecturebasedMEMS high-speedopticalnetwork．Opticalcross-connecting and are on ofthe ofthe architecturebasedonthree donepart performanceopticalcross——connecting analysis of basedon3-DMEMS dimensions(3D)MEMS．Finally，theapplicationopticaladd—dropmultiple(OADM)devices inthe networkarediscussed． architecture all-optical Keywords：MEMS；DWPM；OXC；OADM 1引言是指可批量制作，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 MEMS技术的英文全称是：Micro—electromechan． ical MEMS技术的主要特点是： systems，一般也称作微机电系统技术，其含义