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药剂保证效期为两年-国家试验研究院
國家奈米元件實驗室
毒性尾氣去除器維護
招標規範 工作範圍
財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室奈米元件台南廠無塵室與奇美樓8樓製程實驗室A。Scrubber。
數量：3台
維護保養程序：
每月基本維護保養機內容不得少於下列幾項檢查項目。
檢查項目：
人機介面、PLC、鼓風機、Bypass Valve、氣體偵測器、控制軟體、系統出口端排氣、製程進氣、系統入口端壓力、加熱器溫度、指示燈、氣體濃度。
基本維護保養機台不含零組件損壞或壽命期限到期之更換。
更換藥劑一次。
藥劑規格：
SiH4BASF , type PuriStar R3-15 , OUTLET5 ppm
NH3BASF , type Selexsorb CD, OUTLET25ppm
AsH3BASF, type PuriStar R3-15 , OUTLET0.05ppm
SeH2BASF, type SryroStar S6-38 , OUTLET0.05ppm
Sensor cell規格：
SiH4COSMOS , TYPE? CDS-7
NH3COSMOS , TYPE? CDS-7
AsH3COSMOS, TYPE CDS-7
基本維護保養機台完畢後需清理工作區域，並恢復原狀。 單位 採購數量(年) 兩年總計數量 附註 Absorbent（吸附藥劑） 桶 1 2 每年輪流更換一桶藥劑 Sensor（感測耗材） 顆 4 8 COSMOS (CDS-7) 維護保養 月 12 24 每月巡查至少3小時
保固
藥劑保證效期為兩年。
履約期間
本案為兩年期合約，決標次日起至102年12月31日止
核銷方式採每年核銷2次，101年6月與12月；102年6月與12月。
驗收
得標廠商維護記錄並實驗室使用單位簽。
國家奈米元件實驗室
NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES
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filename：矽甲烷SiH4廢氣處理機毒性尾氣去除器招標規範書
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