基于白光干涉的空间频域算法研究 study of spatial frequency domain analysis method based on white light interferometry.pdfVIP

第38卷第7期 光电工程 V引．38．No．7 2011年7月 Opto-ElectronicEngineering July，2011 文章编号：1003—501X(2011)07—008卜05 基于白光干涉的空间频域算法研究 谢元安1，韩志刚2 (1．福州石径电子有限公司，福州350003； 2．南京理工大学电子工程与光电技术学院，南京210094) 摘要：为了精确定位白光干涉条纹的零光程差位置，采用空间频域算法通过傅里叶变换提取白光干涉信号中心波 长的相位信息并结合包络中心算法去除相位模糊从而实现零光程定位。实例测量了具有相位突变的计算全息元件 mm×O．32 的表面轮廓，其平均刻蚀深度为1．63“m。测量表面形貌连续分布的微透镜阵列，O．32 mm视场内表面 Pv为370．99nm，RMs为62