基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试 analysis and characterization of nanostructure out-of-plane vibrations using micro laser doppler.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试 analysis and characterization of nanostructure out-of-plane vibrations using micro laser doppler.pdf

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基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试 analysis and characterization of nanostructure out-of-plane vibrations using micro laser doppler

光电子·豫光 of V01．19No．6Jun．2008 第19卷第6期2008年6月 Journal Optoelectronics·Laser ·测量·检测· 基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试* 徐临燕，栗大超一，邱晗，胡小唐，赵大博 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) 摘要：为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性，建立了测试中的关键模型：静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型，以及静电激励纳米梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型。利用基于显微激光多普勒的纳结构离面振动测试系统，对静电激励纳米梁谐振器的离面振动特性进行了测试，测试结果验证了建模的正确性，同时对M刊s加工工艺进行了评价和表征。关键词：卜『I孙俗；显微激光多普勒；振动特性；谐振频率；静电激励；纳米梁谐振器中图分类号：TN247文献标识码：A 文章编号：1005—0086(2008)06-0781—05 and ofnanostraetmtvibrationsmicrolaser characterization Analysis out-of-planeUshlg doppler XU Han，HU Da-bo Ih-chao一，QIUXiao-tang，ZHAO Limyan，LI of of and (State LaboratoryPrecisionMeasuringTechnologyInstruments，Tiar日hUniversity，Tianjin300072， Key China) 011 andmethodofnanostructure vibration咖uremgiltbasedmicrolaser Aharaet：111etheory OUt-of-plane technique are test fornanostructure vibrationbasedon vibrometerisset Dopplerexpounded．nesystem out-of-plane Doppler up．For thecharacterizationofthevibration of deviceelectrostatic-actuatednanobeam，three NEⅣ笛representative key properties modelsare electficalmodelofelectrostatic-actuatednanobeam，themechanicalnltgdelof established：theequivalent equivalent nanobeam．thecorrelationmodelofelectrostaticforceOntheelectrostati