极紫外多层膜光栅技术研究进展 multilayer grating technologies for euv.pdfVIP

第28卷第8期 121：垫塑Q：墨 ．●——豳磁豳盈盈盔盈■豳■ 文章编号：1007一1180(2011)08—0005—07 极紫外多层膜光栅技术研究进展 张立超 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033) 摘要：极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构，它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层 膜布拉格衍射相结合，使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能． 在天文学、物理学、材料科学等领域具有广阔的应用前景。介绍了极紫外多层膜光栅的应用：从光栅衬底制 备与多层膜沉积两方面对多层膜光栅制备技术的研究进展进行了分析；并从实际应用角度出发．对未来多层 膜光栅技术研究的发展趋势作了展望。 关键词：极紫外；多层膜光栅；衍射效率；宽带多层膜 中图分类号：0484．4 文献标识码：A DoI：10．3788／DMEl20l1 2808：(X)05 forEUV MuIt¨ayerGr