利用rew软件实现石墨烯的单个碳原子分辨 resolving the individual carbon atoms of graphene monolayer by rew software.pdfVIP

第29卷第2期 电 子显微学报 Vol-29．No．2 20lO年4月 ofChineseEIectron 20lO．04 Journal MicroscopySociety 文章编号：1000-628l(20lO)02．0119-04 利用REW软件实现石墨烯的单个碳原子分辨 林 芳1，金传洪2’3 of Research Institute (1．华南农业大学理学院，广东广州510642；2．NanotubeCenter，National AdVancedIndustrialScienceand Technology(AIST)，Tsukuba305-8565，Japan； 3． ofMaterialsScienceand Department Engineering。MeijoUniversity，Tenpaku-ku，Nagoya468—8502，Japan) 摘要：利用可控的电子束辐照减薄，成功地在电子显微镜内原位制备出石墨烯。由于从单张高分辨像上难以分 辨单个碳原子，本文采集了系列离焦的高分辨像并进行波函数重构，最终获得了清晰的单个碳原子像。系列像的 重构是利用自主开发的REW软件实现的。本文介绍如何利用REW的像模拟功能确定系列像的成像条件。 关键词：石墨烯；高分辨电子显微像；REw软件；波函数重构；单原子 中图分类号：TNl6；0766；TP31文献标识码：A 在二维介观纳米体系中，单原子层厚度的石墨 接对应着分辨单个原子的衍射分量，因此仅从图像 烯材料，具有优异的电子输运性能，有望在未来替代 难于直接分辨单个原子H】。正是由于这两方面的 硅成为新兴的半导体晶体管材料。因此，成为近几 影响，本文决定采用波函数重构法，采集系列离焦的 年理论研究、实验研究的热点材料…。由于材料结 高分辨像，通过多张图像信息的累加，重构位于样品 构决定材料的电学、光学等性能，石墨烯的结构也受 后表面的出射波函数，强化高频部分的图像细节，最 到了格外的关注¨一1。 终在石墨烯上获得清晰的分辨单个碳原子的像。 石墨烯是由单个碳原子以六角网格结构构成的 本文将简要介绍制备石墨烯的实验、技术手段， 二维材料，通常在垂直于六角网格的方向上，以 其次将介绍REw软件的功能，及如何应用软件确 ABAB…形式堆剁成较为稳定的多层石墨体材料。定高分辨像的实验条件，最后进行系列离焦像的波 石墨体材料较易获得，但是要制备出能够在电子显 函数重构，使在相位像中得到清晰的单个碳原子分 微镜下观测的石墨烯，需要特殊的制备方法。本文 辨。 在透射电镜里，利用电子束对多层的石墨材料进行 1 实验 辐照减薄，成功地获得了具有二维的石墨烯。该制 备方法便于在电子显微镜内开展进一步的原位观 将若干至十几原子层厚的石墨体材料置于透射 测。在传统意义上，电镜能够在原子量级上成像，所 电子显微镜(TEM)内，利用电子束辐照对样品进行 A／ 成的像实际上多是原子列的投影像，而当获得单原 减薄。电镜加速电压为80kV，束流强度约200 子层厚的石墨烯，电镜所成的像就是真正意义的单 cm2。石墨在减