球面投影光刻物镜的设计 design of spherical surface imaging projection lithography lens.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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球面投影光刻物镜的设计 design of spherical surface imaging projection lithography lens.pdf

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球面投影光刻物镜的设计 design of spherical surface imaging projection lithography lens

第36卷第1期光电工程 V01．36，No．1 2009年1月 Opto—ElectronicEngineering Jan,2009 文章编号：1003—501X(2009)01-0093--05 球面投影光刻物镜的设计赵立新，张雨东，王建，戴云，高洪涛，董小春，饶学军 (中国科学院光电技术研究所，成都610209) 摘要：针对人工晶体或隐形眼镜的面形上连续浮雕结构加工的特点，本文介绍了基于空间光调制器(DMD)曲面投影光刻物镜系统的设计方法。根据其成像面为曲面的特点，根据光学设计理论多次利用弯向物方的弯月形负透镜结构进行场曲校正，同时运用光的衍射原理优化设计物镜系统的数值孔径以消除DMD投影过程中的栅格效应．运用ZEMAX工程光学设计软件对系统进行了模拟、优化，并对优化后的结果进行了分析。对于设计实例利用上径NA=O．1，分辨力为7．8姗a(64lp／mm)时的光学调制传函值0．8，畸变i-0．05％。关键词：球面光刻；投影物镜；DMD；光学设计中图分类号：TN305，TB851 文献标志码：A of Surface ection Lens SphericalImagingProj Lithography Design ZHAOLi．xin，ZHANG Jian，DAIYun， Yh—dong，Ⅵ，ANG GAO Xiao-chun，RAO Hong-tao，DONG Xue-jun (Institute andElectronics,ChineseAcademyofSciences,Chengdu610209，China) ofOptics continuousmierostrucfureintraoeular tothefabricationcharacteristicsofthree-dimensional onthe Abstract：Referring lensor lens．themethodfor surface lenswasintroducedbased contact designingsphericalimagingprojectionlithography modulatorsuchas Mirror tocharacteristicsofthe onthe Device(DMD)．Accordingprojectionlens， spatialoptical Digital fieldcurvatureWaScorrectedthe tothediffraction the was the by spherical，and negativelens．According image—surface theDMDstructure withthe numericalWas inordertoeliminate of theory,the apertureoptim