微波网络分析仪校准过程中校准方程的选择.PDFVIP

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2017-08-22 发布于天津
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微波网络分析仪校准过程中校准方程的选择.PDF

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微波网络分析仪校准过程中校准方程的选择.PDF

第27卷第3期计量学报 V01． 27． No3 2006年7月 ACTAMETROLOGICASINICA July，2006 微波网络分析仪校准过程中校准方程的选择冯巍巍，王幼林，祝宁华 (中国科学院半导体研究所集成光电国家重点实验室，北京100083) 摘要：将线性方程组的误差理论应用于微波网络分析仪的夹具校准过程，提出了一种线性校准方程的通用选取原则，即选择系数矩阵的条件数最小的组合。用这个原则对YSD校准方法进行方程选择，并将不同方程组合的解与直测数据进行比较，结果证明根据误差理论选择的方程组合确实得到最精确稳定的解。关键词：计量学；微波网络分析仪；微波测试；校准；测试夹具中图分类号：TB973 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(2006)03—0269．04 ChoiceofCalibration inthe Calibration Equations M of icrowaveNetwork Analyzer FENG WANG ZHU Wei—wei， You-lin， Ning-hua (State on ofSemiconductors，Chineseof KeyLaboratoryIntegratedOptoelectronics，Institute Academy 100083，China) Sciences，Beijing Abstract：Theerror oflinear is tothecalibration ofmicrowavenetwork theory equationsystemapplied procedure analyzer．A for calibration is isrelatedtotheconditionnumberofthecoefficientmatrix general equations principlechoosing presented，which ofthe conditionnumberwilllead is calibration toaccuratesolutions．This toTSDmethodand equations．Small principleapplied thechosen themostsimilarsolutionstothemeasuredresults． equationsgive Key network measurement；Calibration；Testfixture words：Metrology；Microwaveanalyzer；Microwave 校准时选择不同的网络或器件作为标准，即成 1 引言为不同的校准方法幢。1。经过三十多年的发展，网