基于MEMS的光力学红外成像Ξ.PDFVIP

第 19 卷 　第 4 期 实 　验 　力 　学 Vol . 19 　No . 4 2004 年 12 月 JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS Dec . 2004 　 ( ) 文章编号 2004 基于 MEMS 的光力学红外成像 1 1 1 1 2 2 1 潘 　亮 , 张青川 , 伍小平 , 段志辉 , 陈大鹏 , 王玮冰 , 郭哲颖 ( 1. 中国科学技术大学 , 中科院材料力学行为和设计重点实验室 ,合肥 230037 ; 2 . 中科院微电子研究所 ,北京 100029) 摘要 : 非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注 。近期 ,非制冷的热机械型 红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备 。本文提出了一种新型光学读出 ( ) 的红外探测仪 。此红外探测仪的核心器件 焦平面阵列 FPA 由无硅基底结构的微悬臂梁阵 列构成 。每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形 。它不需 要读出电路 、真空腔和制冷装置 ,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统 ,而制作 成本和难度将大幅降低 。制作的无硅基底单层膜结构的 FPA ,其单元尺寸为 200μ μ m ×100 m , 阵 列大小为 150 ×100 像素数 。实验制作的系统探测到温度为 500K 左右的热物体像 ,热像采样频 率为 12 幅/ 秒 。 关键词 : 红外探测器 ; 光学读出; 红外成像 ; 双材料微悬臂梁 ; 焦平面阵列 中图分类号 : TB535. 1 　　　文献标识码 : A 1 　引言 红外辐射探测装置将不可见的红外辐射转化为可见的图像 ,在军事和民用等很多领域都有重要应 用价值[ 1 ,2 ] 。按照探测原理 ,传统的红外辐射探测装置分为两类 :量子型和热型红外辐射探测器 。 量子型红外辐射探测器是利用光电效应将红外光子能量转化为电子能量 ,需要将探测器靶面冷却 到 77K 来抑制电子热运动 ,结果造成探测装置不仅笨重而且昂贵 。 传统的热型红外辐射探测器是吸收入射的红外光能量 ,使探测单元温度上升 ,再通过电路读出探测 单元温升引发的电学效应从而得到红外辐射的信息 。目前 , 由于读出电路的制作比较困难 ,而热型探测 器的热电效应一般在 2 %/ K ,这更提高了读出电路的信噪比要求 ,使其价格昂贵 ,无法得到广泛的应 用[3 ] 。 [4 ,5 ] 基于光 - 机械微悬臂梁结构的热型红外焦平面探测器于上世纪90 年代后期被提出 。红外光能 被探测单元吸收后转化为热能 ,使悬臂梁产生热致形变 。通过光学读出系统 ,检测出微梁阵列的形变 , 进而得到被测物体的热像或温度分布 。这种新的非致冷热型红外焦平面探测器与热电型相比, 易于在 探测单元与基底之间实现良好的热隔离 ,对相同的热辐射可以得到更高的温升 。并且探测器敏感单元 的制作采用了通用的微加工工艺 ,与现有 IC 制作工艺兼容 ,大大地降低了开发和制作成本 。 目前这种探测器是基于硅表面的带有牺牲层的单面加工工艺制造 ,设计中完全保留了