基于质量流量控制器的多组分动态配气系统研究.PDFVIP

基于质量流量控制器的多组分动态配气系统研究赵建华，等 基于质量流量控制器的多组分动态配气系统研究 Researchonthe Gases DynamicMultipleDistributingSystem BasedonMassFlowController 赵建华1 兰华束1 障滋健2 李 座1 赵害支1 摘要：针对在对气体浓度监测系统进行标定时需要多种不同浓度值标准气的需求，对基于质量流量控制器的多组分动态配气系统 进行了研究，设计并研制了配气系统样机。计算机通过USB接El与高精度的质量流量控制器通信，严格控制各组分气体流量，从而实 温度与压力变化影响，对配制高、低浓度的标准气都适合，具有很好的应用价值。 关键词：标准气体质量流量控制器多组分动态配气稀释比系统 中图分类号：TP23 文献标志码：A Abstract：In concentration is to standardwithdifferent calibratinggas monitoringsystem，itnecessarysupplymultiple gases basedonmassflowcontrollerwas a unitwasbuilt．The comlnu· dynamicmuhiplegasesdistributingsystem researched，andprototype computer with viaUSB the flowofeachkindof isunderstrictcontr01．Theconcentra- nicated massflowcontroller highlyprecise interface。thusgas gases is to1／2 theminimum to0．8％． tionofthe reaches canbe dilutionratio gases 10一。and adjustedcontinuously．The up 000，and uncertaintyup in andlowconcentration．Itisvaluable The isnotaffectedambient or issuitableforstandard both system by temperaturepressure，it gases high in practicalapplications． Massflowcontroller Dilutionratio Keywords：Calibration Dynamicmultiplegasesdistributing System gases 还造成很大的浪费。另外，配制静态的标准气体，往往 0 引言 很难得到一个准确的标称值，这些都给标定工作带来 标准气体作为气体成分量值的计量标准，已广泛 一定的困难。在对多组分气体监测系统进行标定时， 应用于科学研究、大气环境监测、仪器仪表的校准、化 这种情况尤其严重。 工产品的检验等领域。随着经济与科学技术的快速发 针对这种需求，本文提出了一种基于高精度质量 展，标准气体的用途Et渐广泛，需求量急剧增加。特别 流量控制器的多组分动态配气系统，可连续配制并供 是在气体监测领域，标准气体是检验监测方法、分析仪 给浓度值连续可调的多组分混合标准气体。系统精度 器、监测技术及进行质量控制的重要依据。