石英衬底上生长的高光学质量的纳米金 刚石薄膜.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 =! % $$ % ， ， ， ,MN .=! LM . % HOPODQ $$ （ ） !$$$)#$G$$G=! $% G !%7$)$= H+IH :*J/K+H /KLK+H !$$ +C6 . :RD . /MS . ############################################################### 石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜! !） ） !） 邱东江 石成儒 吴惠桢 !）（浙江大学物理系，杭州 #!$$%） ）（浙江大学中心实验室，杭州 #!$$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$! ! !! $$ ! ! 采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积（ ）技术在石英玻璃衬底上制备了表面光滑、晶粒致密 ’()*(+,- 均匀的纳米金刚石薄膜 用扫描电子显微镜（ ）和台阶仪观测薄膜的表面形貌和粗糙度，射线衍射（ ）和 . /01 2 3’- 光谱表征膜层的结构，并用紫外 可见 近红外光谱仪测量其光透过率 实验结果表明，衬底温度、反应气压及 ’4546 ) ) . 射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响，其最佳值分别为 ， 7$$8 9 !##:4 和 在该最佳参量下经 的生长即获得连续、平滑的纳米金刚石膜，其平均晶粒尺寸为约 ，表面平均粗 $$; . ! =65 糙度仅为= =65，在近红外区的光透过率高达$ ? . 关键词：纳米金刚石薄膜，射频等离子体增强热丝化学气相沉积，光透过率 ： ， ， !## %!!=* 7%@= @%== 减小薄膜表面粗糙度并无益处；另一办法是通过增 ! 引 言 大碳源气体浓度的办法来达到提高成核率之目的， 但这就不可避免地会在膜中引入大量非金刚石相成 低压化学气相沉积（ ）生长的金刚石膜具有 分，结果降低了金刚石膜的结晶度，并导致薄膜的透 +,- 宽带隙（ = =A, ）、高硬度、低磨擦系数、高热导率及 光性和硬度都显著下降，从而也无法在上述两方面 低电导率等优异的物理特性，在光学、机械、电子等