超薄膜外延生长的MonteCarlo模拟.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 %! % ## % ， ， ， C)0 1%! O) 1% (.P ## （ ） !###=$G#H##H%! #% H !!#=#% 8-I8 JKLMN-8 MNON-8 ## -B:* 1 JBP2 1 M)A 1 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 超薄膜外延生长的!#$% ’() 模拟 !） ） 叶健松 胡晓君 !）（上海交通大学材料科学与工程学院，上海 ###$# ） ）（上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，上海 ###$# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##! % ! ##! !! ’ 用 （ ）方法对超薄膜外延生长过程进行了计算机模拟 模型中引入 势描述粒子间的相互作 ()*+, -./0) (- 1 ()/2, 用，考虑粒子的沉积、吸附粒子的扩散和蒸发三个过程1 研究了粒子间相互作用范围 和允许粒子行走的最大步数 ! 对薄膜生长形貌的影响 结果表明：在不同的 值下，随粒子行走步数的增加，薄膜的生长经历了从分散、分形、混 1 ! 合到团聚的过程；其中 3 4 时，基本观察不到粒子的分散生长过程；值越小且粒子行走步数越小的情况下，薄膜 ! ! 越易趋向于分散生长1 关键词：超薄膜， 方法，外延生长， 势，分形 ()*+, -./0) ()/2, ： ， *+ 4%% $!# 同 值和不同粒子数对薄膜形貌的影响，但他们的 ! !5 引 言 模型中没有考虑粒子的蒸发过程1 本文在前人的基础上，用 方法系统研究了 (- 超薄膜材料以其优越的物理性能和诱人的应用 超薄膜二维平面上外延生长的过程1 模型中引入 前景日益受到人们的重视 在研究超薄膜生长的过 势描述粒子间的相互作用，考虑了粒子的沉 1