基于cpld的半导体设备电源系统控制技术研究研究.pdfVIP

匝燮盏垦蚕警夏基基蠢型垦基■昌口麴圈豳塑幽燮塑燮燮幽豳圈豳豳 垦±皇旦堕鱼堕蒌皇王童旦塑鱼堡窒 基于CPLD的半导体设备电源系统 控制技术研究 井海石，肖雅静，田洪涛，熊朋 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京，100176) 摘 要：研究基于CPLD的半导体设备电源系统控制技术，介绍了CPLD相关知识、电源系统控 制原理、电源系统控制硬件软件设计及抗干扰技术，最后结合实际应用指出基于CPLD的电源控 制技术具有广泛的应用前景。 关键词：复杂可编程逻辑器件；半导体设备；电源系统控制 中图分类号：TN86 文献标识码：A of onthe Semiconductor Study ControllingTechnology Power BasedonCPLD EquipmentSystem JING Haishi，XIAO Hongtao，XIONG Yajing，TIAN Peng 45m (TheResearchInstituteof 100176，China) CETC，Beijing semiconductor Abstract：Inthis of based technology system paper，thecontrolling equipmentpower on is CPLD studiedon．The onCPLD，the mainly knowledge powersystemcontrollingprinciples，the ofhardwareandsoftware，andtheanti-interferenceare power designs technology systemcontrolling last，combinedwiththeactual the of presented．At application，thatcontrollingtechnologypower basedonCPLDhasawide is out． prospectpointed Keywords：Complexprogrammablelogicdevice(CPLD)；Semiconductorequipment；Powersystem controlling 半导体设备涉及传感识别、运动控制、温度控 设备的心脏，电源系统稳定工作是设备正常工作 制、图像处理、计算机通信等众多领域。系统结构 的先决条件。半导体设备对电源系统的控制要求 复杂、功能模块众多，技术含量极高。半导体设备 比较高，一是电源控制可靠稳定；二是实现特定控 的电源系统也是很复杂的，即包含交流电源又包 制功能，如时序启动、分模块上电、延时断电以及 含直