碳纳米管场效应晶体管设计与应用 design and application of carbon nanotube fets.pdfVIP

第24卷第lO期 电子测量与仪器学报 场￡24ⅣD．10 · · 20lO年10月 JoURNALoFELECTRoNICM匮AsUREM匮NTANDINSTRUM匝NT 969 DOI：10．3724／SP．J．1187．20lO．00969 碳纳米管场效应晶体管设计与应用宰 许高斌1，2陈兴1，2周琪3王鹏1，2 (1．安徽省微电子机械系统工程技术研究中心，合肥230009；2．合肥工业大学电子科学与应用物理学院，合肥230009； 3．合肥工业大学材料科学与工程学院，合肥230009) 摘要：碳纳米管具有一些独特的电学性质，在纳米电子学有很好的应用前景。随着纳米技术的发展，新的工艺技术也随 之产生。纳米器件的“由下至上”制作工艺，是在纳米技术和纳米材料的基础之上发展起来的，在新工艺基础之上，可以利用纳 米管、纳米线的性质制作成各种新的电子器件。由于碳纳米管可以和硅在电子电路中扮演同样的角色，随着基于碳纳米管的纳 米电路研究的深入发展，电子学将在真正意义上从微电子时代进入纳电子时代。从分析碳纳米管分立场效应晶体管典型结构特 点人手，分析阐述了碳纳米管构建的典型纳米逻辑电路结构特征及碳纳米管在柔性纳米集成电路方面的应用。 关键词：碳纳米管；场效应晶体管；纳米逻辑门电路；柔性纳米集成电路；纳米电子学 中图分类号：0484 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：430．4030 and ofcarbonnanotubeFEl’s Designapplication XuGaobinl’2Chen Zhou Xin91’2 Qi3WangPen91’2 Elec缸-omech孤icalResearchCcIlter ofAIltIui TechnologyProVince，Hefci230009，China； (1．Micro System ofEnginee订ng锄d 2．SchoolofElecn．onic ofMaterialsScieIlce蚰d 230009，China；3．School Sci∞ceAppliedPhysics，Hefei Enginee血g，Hefei univers时ofTechnology，Hefei230009，China) Abstract：Carbonnanotubehas aIldextcIlsiVe on manyex仃aordina巧electricalproperties applicationfbreground nano the f曲ri— elec订onics．W怂theof is deVelopmentnaIlotechnolog)r，newprocesstectuliquegenerated．Andbottom-up cation is all