陶瓷封装腔体内气体含量分析与控制 analysis and control of internal gas for hermetic package.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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陶瓷封装腔体内气体含量分析与控制 analysis and control of internal gas for hermetic package

第l1卷，第8期电子与封装总第100期 Vo1．11，NO．8 2011年8月 ELECTRONICS PACKAGING @ @ 蛳陶瓷封装腔体内气体含量分析与控制冯达，李秀林，丁荣峥，王洋。，明雪飞 (1．深圳国微电子有限公司，深圳518057；2．无锡中微高科电子有限公司，江苏无锡214035) 摘要：气密性封装技术应用广泛，内部水汽的含量能很好地控制在5000×10 以下。但在气密性封装器件的失效分析中发现，失效器件的某些失效与其内部除水汽之外的其他气氛含量异常有关，如锡基焊料焊接芯片长期贮存后抗剪／抗拉强度下降，与内部氧气含量高有关；银玻璃烧结的，长期贮存后抗剪／抗拉强度下降，与内部二氧化碳含量异常相关；内部氦含量高，则往往与返工处置不恰当相关，上述现象表明气密性封装中仅控制水汽含量是不够的。文章分析了腔体内氧气、二氧化碳、氦气的来源，气体含量异常与封装工艺的关系。同时在分析试验的基础上提出了针对性的工艺措施，试验结果表明这些改进措施能够很好地解决封装腔体内氧气、二氧化碳、氦气含量，并取得了期望的结果。关键词：气密封装；内部气氛；氧气含量；二氧化碳含量；氦气含量；水汽含量中图分类号：TN305．94 文献标识码：A 文章编号：1681-1070(2011)08—0010-05 AnalysisandControlofInternalGasforHermeticPackage FENG Da，LIXiu-linz，DING Rong—zheng，WANGYang2，M ING Xue—feiz (1．ShenzhenStateMicroelectronicsCo．，Ltd．，Shenzhen518057，China； 2．WuxiZhongweiHigh—techElectronicsCo．工，Wuxi214035，China) Abstract：Hermeticpackagetechnologyhasbeenwidelyusedinnowadays．Therehavebeenalotof researchonthevaporcontentsinelectroniccomponentssealedcavity．Internalvaporcontentscanbe controlledinlessthan5000×10～．Butinthefailureanalysisaboutthehermeticpackageelectronic components，wefoundthatsomefailureaboutthecomponentsassociatedwithotheratmospherecontents anomalyinadditiontootherinternalwatervapor．Forexample，solderingalloy,shearstrengthandtensile strengthwillbereducedafteralong—term storage，associatedwiththeanomalyofinternaloxygencontents． Silverglasssinter,shearstrengthandtensilesrtengthwillbereducedafteralong-term storage，associated withtheanomalyofinternalcarbondioxidecontents；Thegrowthofthecontentininternalhelium is oftenassociatedwithinapprop