调研我国等离子体材料处理方面的教材情况 investigation of the status of textbooks about plasma-based materials processing in china.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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调研我国等离子体材料处理方面的教材情况 investigation of the status of textbooks about plasma-based materials processing in china.pdf

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调研我国等离子体材料处理方面的教材情况 investigation of the status of textbooks about plasma-based materials processing in china

电子工业专用设备趋势与展望 Eguipment for Electronic Products Manufacturing 调研我国等离子体材料处理方面的教材情况黄爹畸! 击地怠 !清华大学工程物理系北京 100084 # 摘要!在调研世界和我国等离子体刻蚀技术的发展现状的基础上!分析我国急需培养的等离子体材料处理方面的几类不同人才然后对培养不同人才所需要的教材提出不同的理想指标最后根据 ! # ! 这个理想框架重点对市面上销售的主要中文英文相关书籍进行分析比较列出其主要内容和适 ! $ ! 合阅读对象希望读者能够方便地选择出适合自己的教材调研结果表明中文相关书籍基本上都不适合作为教材使用!而英文相关书籍是我们值得学习借鉴的$ ! $ $ $ 关键词集成电路等离子体刻蚀技术人才教材中图分类号! 文献标识码! 文章编号! 0539 A 1004-4507 （2006》08-0004-06 Investigation of the Status of Textbooks about Plasma-based Materials Processing in China HUANG Meng-gi, PU Yi-kang (department of Engineering Physics, Tsinghua University, beij ing 100084, China) Abstract : This thesis describes the current status of plasma etching technology in the world and in Chi- na., and then suggests that the best and the only way to solve the problems in China is to train many people with different kinds of technical background and who understand plasma discharges and materi- als processing. These kinds of people are much in demand in todays China. Then, aiming at different reguirement for different kinds of technical people, the thesis puts forward different reguirement for textbooks. based on these different reguirements, this thesis compares