a-ch膜化学结构对光学性能的影响 influence of chemical structure of a-ch films on optics property.pdfVIP

第21卷第3期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．21．No．3 H1GHPOWERI。ASERAND BEAMS 2009年3月 PARTICI。E Mar．，2009 文章编号：1001—4322(2009)03—0350—05 Q—C：H膜化学结构对光学性能的影响。 刘兴华1’2， 吴卫东2， 何智兵2， 张宝玲2， 王红斌2， 蔡从中3 (1．重庆大学输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室，重庆400044； 2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心。四川绵阳621900I3．重庆大学数理学院，重庆400044) 摘 要： 选用体积分数为99。9999％的H。及反式一2一丁烯(T2B)为工作气体，利用低压等离子体增强化 学气相沉积法制备了a-C；H薄膜。利用傅里叶变换红外光谱仪和x射线光电子能谱对薄膜化学键和电子结 构进行分析，并结合高斯分峰拟合分析了薄膜中sp3／sp2杂化键比值和sp3C杂化键分数。结果