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- 2017-08-23 发布于上海
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大口径光学元件的精密检测技术 accurate detection technique for optical elements with large aperture
技术交流IEXCHANGE
大口径光学元件的精密检测技术
AccurateDetection with
for Elements
TechniqueOptical
re
LargeApertu
张蓉竹
(四川大学电子信息学院,IⅡtJll成都610064’
ZhangRongzhu
and
Electronics 610064.China)
(Collegeof InformationEngineering,SichuanUniversity.Chengdu,咸chuan
摘 要 随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提
高制造效率,需要适当的在线检测
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