大口径光学元件的精密检测技术 accurate detection technique for optical elements with large aperture.pdfVIP

  • 11
  • 0
  • 约1.16万字
  • 约 5页
  • 2017-08-23 发布于上海
  • 举报

大口径光学元件的精密检测技术 accurate detection technique for optical elements with large aperture.pdf

大口径光学元件的精密检测技术 accurate detection technique for optical elements with large aperture

技术交流IEXCHANGE 大口径光学元件的精密检测技术 AccurateDetection with for Elements TechniqueOptical re LargeApertu 张蓉竹 (四川大学电子信息学院,IⅡtJll成都610064’ ZhangRongzhu and Electronics 610064.China) (Collegeof InformationEngineering,SichuanUniversity.Chengdu,咸chuan 摘 要 随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求。为了提 高制造效率,需要适当的在线检测

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档