基于数字全息干涉的实时微振动检测 real-time micro-vibration testing based on digital holographic interferometry.pdfVIP

第24卷第10期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．24，No。10 2012年10月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Oct．，2012 文章编号： 1001—4322(2012)10—2291—05 基于数字全息干涉的实时微振动检测+ 李建毅， 肖 文， 潘 锋， 丛 琳， 王瑶琛 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京100191) 摘 要： 基于数字全息理论的方法，构建了一套微振动实时测量的实验系统。通过运用基于全息干涉图 像的振动快速解算算法，直接从记录的全息图中提取振动信息，实现对振动物体振幅值进行实时测量。该系统 的接收光为散射光，使得测量角度不受被测物体结构的影响。通过测量由标准正弦波驱动的被测物微振动情 况，对该实验系统进行了实验验证，实验结果表明，该系统能够实时测量微振动的振幅值(算法处理时间约为 0．1l ms)，在550～2700Hz频段内被测物的振幅较为稳定，系统稳定性误差为1．66％，真实地反映了其振动 情况。 关键词：数字全息； 实时；微振动测量；频率响应；输出误差 中图分类号：TN26 文献标志码：A doi：10．3788／HPLP2291 物体的微振动动态检测是工程应用中经常面临的检测需求口]。在许多应用领域，必须要考虑到装置的结 其使用精度【3]。在航空、航天工业及精密仪器制造等领域，微振动的实时检测具有十分重要的意义。例如航空 仪器零部件在工作中的微振动控制需要具备实时性反馈，若测量时间过长则不能反映出实际的振动特性。而 且这些精密仪器的外形结构往往比较复杂，很难满足如干涉测量中接收光为主反射光的要求，这就需要有一种 测量方法同时满足以上要求。光学检测以其优越的特性在无损检测中得到越来越广泛的应用[4]。对于微振动 成熟，测量精度高，但测量结果受被测体表面情况影响较大，且无法实现面振动测量。莫尔条纹法信噪比高，可 以进行高倍细分，其缺点是抗干扰性较差。数字全息技术[81具备高灵敏度、高精度、无损性、测试范围广等优 势凹。12I，因此可应用于物体微振动的测量领域。时间平均全息干涉法是数字全息测振的一种常见方法，其通过 较长的曝光时间记录物体的振动情况，具有全场测量的优点，但是只能解算出曝光时间内振幅的分布，并且全 息图的再现与处理需要花费比较长的时间，因此不易于实现微振动的实时测量。 本文从工程应用的实际出发，构建了基于数字全息检测的光路平台，采用数字全息的记录方式，运用基于 全息干涉图像的振动快速解算算法，直接从记录的全息图中提取振动信息，能够实现对被测物体微振动进行实 时测量。由于全息图记录了整个振动面的振动信息，可以同时获得全振动面上各点的实时振幅值。并且系统 接收光为散射光，测量不受被测物体结构的影响，为微振动的高精度实时测控提供了一种有效的方法。 1 测量原理 r。(z，y)exp[i声R(z，y)]在全息平面(车，叩)相干叠加，形成的全息图 (1) 式中：*表示共轭。式(1)展开得 r0(手，r])Oo(￡，r／)exp{i[声R(∈，r／)一P。(∈，叩)]) (2) 根据欧拉公式得 (3) 1(6，蹿)一Io(搴，零)+IR({，警)+2~／Jo(￡，可)IR(￡，节)c。s△≯(∈，_17) 式中：J。(车，叩)和k(∈，叩)分别为物光和参考光的光强分布；△妒(车，叩)为参考光、物光的初始相位差。 30 *收稿日期：2012—0420； 修订日期：2012-05 基金项目：国家自然科学基金项目 作者简介：李建毅(1985一)，男，硕士研究生，主要从事数字全息检测方面的研究；ljyl985007@aspe．buaa．e