利用激光二维散射特征的表面粗糙度测量方法 a surface roughness measurement using laser scattering two dimensional features.pdfVIP

第38卷第6期 激光与红外 V01．38．No．6 2008年6月 LASER＆INFRARED June．2008 文章编号：1001-5078(2008)06-．0544-04 ·激光技术与应用· 利用激光二维散射特征的表面粗糙度测量方法 曾 焱，徐晓，陈万如 (华南理工大学物理科学与技术学院，广东广州510641) 摘要：从分析激光散射表面粗糙度测量技术和激光在粗糙表面的二维散射特征出发，引入表 征二维散射光能量分布的三个特征量，提出一种表面粗糙度测量方法，不仅可以测量表面粗糙 度的统计参数，而且可以反映出表面纹理的形貌特征。 关键词：非接触测量；表面粗糙度；激光散射；二维散射特征 中图分类号：TN247 文献标识码：A ASurface MeasurementLaser