薄膜的机械性能研究.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 、 年 月 一 文章编号 一 一 等离子浸 没离子注人 沉积 纳米 薄膜 的机械性 能研 究 万 国江 , 黄 楠 , 冷永祥 , 杨 萍, 陈俊英 西 南交 通 大 学材 料 学院生 物 材 料 与表 面 工 程 研 究所 , 成 都 摘 要 采用 等离子体浸没 离子注入沉积 一 在 不锈钢基底 上合成 薄膜 对 沉积 薄膜后 的不锈钢试样进行拉伸变形实验 , 扫描 电子 显微镜 原位观察表 明在较大塑 性变形量下氮化钦薄膜没有剥落和裂纹 出现 采用划 痕法测得薄膜与基体 间有较强 的结合力 薄膜 的纳米压痕测试显示 出很高 的纳米硬度和弹性模量值 通过对合成 薄膜 的 结构 、 、 、 测试 表面观察 成分结果分析 , 认为该合成薄膜 的纳米级 晶粒尺寸 致密 的表面 质量 以及成分沿深度 的分布是其具有优 异 的抗塑性变形性能 以及高 的结合强度 的原 因 关 键 词 纳米薄膜 , 机械性 能 等离子体浸 没离子注入沉积 中图分类号 文献标识码 引言 二 系薄膜材料 以其优 异 的机械性 能 如高硬 度 、 强度 及 抗腐蚀 、 磨损性 能 被广泛 用 于诸 如切 削工 具 、 生物 医用 植入材 料 、 微 电子器 械及 手 工仿金饰 品等 的表 面 改性 【 , 、 、 , 二 ‘ 近年来 很 多 的涂层 合成技术 如 等 被用 于 薄膜 的合成 一 】 据报道 , 这些合 成 薄膜通 常显示 出高 的硬 度 值 , 但 与基 体 间的结合 力 在 某 些 特殊应 用 场合 如人工关节 的摩擦 面 尚不 能满 足要 求 , 有裂纹和 剥落