硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理 combined sensing principle of si mems resonant pressure sensor.pdfVIP

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2017-08-25 发布于上海
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硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理 combined sensing principle of si mems resonant pressure sensor.pdf

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硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理 combined sensing principle of si mems resonant pressure sensor

硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理邢维巍，樊尚春 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京100083) 摘要：为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题，并改善其可靠性和动态响应，提出在传感器原有结构上增加辅助传感器，构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值，可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制；可及时判断闭环系统失效；可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。辅助传感器的帝j≈k：r-艺与主传感器兼容，附加成本低。关键词：谐振式传感器；微机电系统；闭环系统；组合敏感原理 Combined ofSiMEMS SensingPrinciple ResonantPressureSensor XINGWei-wei，FAN Shang-chun (^oo“}，hs￡柏删4ftDn 11xJ083，China) inMEMSresonant senBorand solvetheweak detecting pressklre Abstract：To signal problem that anassls— its and combined appends response，a sensingprinciple improvereliabilitydynamic the resonant sensortoformersensorstructurewas frequency tant presented．Withapproximate to BPFwascontrolled measurement of calculatedfromassistantsensoxs result，central frequency measure— the was intime,the noisereduction，failurestateof judged improve closed-loopsystem thatthe re— was underthecondi