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Mo含量对CrMoN复合涂层的组织结构和性能的影响

ACTA METALLURGICA SINICA Mo 含量对CrMoN 复合涂层的组织结构和性能的影响* 齐东丽 雷 浩 范 迪 裴志亮 宫 骏 孙 超 (中国科学院金属研究所, 沈阳 110016) 摘 要 采用直流反应磁控溅射技术在M2 高速钢基片上制备了不同Mo 含量的CrMoN 复合涂层, 研究了Mo 含量的变化对CrMoN 复合涂层成 分、相结构、化学价态、截面形貌、显微硬度和摩擦性能等的影响.结果表明, 随着Mo 含量的增加, CrMoN 复合涂层的相结构先转变为以fcc-CrN 相为基础的(Cr, Mo)N 置换式固溶体, 后转变为以fcc-γ-Mo N 相为主的混合相, 当Mo 含量为69.3%原子分数时, 伴有少量的bcc-Mo 相生成; CrMoN 2 复合涂层的显微硬度先增加后降低, 在Mo 含量为45.4%时具有最高值; 当Mo 含量大于45.4 %时, 在与对磨副摩擦过程中会生成大量的MoO3 相, 降 低了摩擦系数和磨损率. 关键词 CrMoN 复合涂层, 磁控溅射, 显微硬度, 摩擦系数 中图法分类号 TG172 文献标识码 A 文章编号 0412-1961(2015)00-0000-00 EFFECT OF Mo CONTENT ON THE MICROSTRUCTURE AND PROPERTIES OF CrMoN COMPOSITE COATINGS QI Dongli, LEI Hao, FAN Di, PEI Zhiliang, GONG Jun, SUN Chao Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016 Correspondent: GONG Jun, professor, Tel: (024 E-mail: jgong@imr.ac.cn Supported by National Basic Research Program of China (No.2012CB625100), National Natural Science Foundation of China (No, Natural Science Foundation of Liaoning Province ( Nos.2013020132 and 2013010442-401) Manuscript received 20 14-10-08, in revised form 20 14-12-25 ABSTRACT Ceramic coatings are usually used as protective coatings to improve performance and durability of tools and components now. Compared with conventional TiN based hard coating, CrN based coating like Cr-X -N (X =Ti, Al, Si, C, B, Ta, Nb, Ni) is a more interesting choice because of low friction coefficient, superior oxidation resistance and excellent corrosion resistance under severe environment conditions. The CrMoN is among these coatings and att

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