无线传感网用振动加速度传感器实用电路几点探索-4.docVIP

无线传感网用振动加速度传感器几点探索 郭斌 李昕欣 （中科院上海微系统与信息研究所 传感器国家重点实验室） 摘要：通过对无线传感网?的深入研究，实践上对比了MEMS压阻式、动圈式、MEMS电容式、压电式、等振动加速度传感器在无线传感网上应用的优劣。用?MEMS压阻式振动加速度传感器设计了一套符合无线传感网用振动加速度的检测电路。 关键词 供电电压：单电源 +3.3V电源。 输出信号：1.65V为基准，上下差分模拟信号。 灵敏度： 1000mV/g/3.3V。 模块功耗：额定电流≤1.5 毫安。功耗≤1.5*3.3毫瓦 ，(约 5 毫瓦)。 分辨率： --75db。 带 宽： 300Hz。 ２）开环电路设计框图： 图1，开环电路设计框图 压阻式振动加速度传感器是有四个可变电阻连接成为惠斯通桥式的无源传感器。既然是无源传感器，须经外部电流或电压的激励，方能将物体的振动加速度信号精确的转换为电信号。 本传感器激励电源直接取之于无线传感网系统电源，因整个无线传感网用的是电池供电，电池精度能满足电路的要求。采用经稳压后的稳压源是因稳压源的结构较恒流源简单。前置级采用是差分输入仪表放大器，目的是去除无用的共模信号，只放大反映振动加速度大小的差模电信号。缓冲调整作用于前置级和放大级的阻抗匹配为信号滤波做准备。滤波电路目标是将有用信号和无用信号分开，此处滤波电路设计，采用多路反馈电压控制二阶有源低通滤波器。该低通滤波器有通频带平坦，线性度好的优点。为满足计算机接口的要求，系统加了满刻度调整电路和中心电压调整电路。本电路系统选用的器件基本上都是低功耗，微功耗器件。 ３）开环电路设计电路图 图2，开环电路设计框图 具体电路：RS1 RS2 RS3 RS4 是传感器将振动加速度信号转变为电信号，光刻在MEMS 悬臂梁上的四可变电阻；R* 是零位调整电阻；仪表放大器 AD620 和 C2 组成前置级 交流放大器，放大原始信号；AD708是高精度 双运放 芯片，IC2/A和R2，R3 组成反相比例放大器，目的是调准中间级放大倍数；IC/2B和 R4，R5，C4，C5组成多路反馈，压控，二节低通 有源滤波器，滤除高频干扰波；IC/3A 和 R7，R8组成反相比例放大器，调整整个电路的输出，也称满足刻输出；因为该套电路要和计算机接口，需要设计中心电压，本中心电压为 1.65V，IC3/B 和 R9，R10组成跟随电压稳压电路，使 IC3/B运放输出电路接口电位为 1.65V，从而保持整个电路的中心电压为1.65V。 　 经过制作电路板，调试电路；本计算机对振动加速度信号采集的前置系统，即用MEMS压阻式振动加速度传感器制作的前置系统，能很好的满足前面提到的无线传感网要求的各项技术指标。 二 压阻式和动圈式振动加速度传感器幅频特性和相频特性图对比 1，下面是压阻式和动圈式振动加速度传感器幅频特性对比 表1，压阻式振动加速度传感器灵敏度表: 表2，动圈式振动加速度传感器灵敏度表: 频率(Hz) 10 20 30 40 60 100 200 灵敏度(mV/g/5V) 3000 2370 1640 1260 895 475 268 300 500 700 1000 147 85 60 50 图3，压阻式振动加速度传感器幅频特性曲线: 图 4，动圈式振动加速度传感器幅频特性曲线: 从图3，图4 两幅频特性曲线图上可明显的看出二者的差别。压阻式振动加速度传感器，在３００Ｈｚ通频带内平坦，线信度好，能真实的反应振动信号的大小；而动圈式振动加速度传感器　带宽不足３００Ｈｚ，且　通频带极不平坦，线信度不好，放大后，反映的是畸变的振动信号。典型的，动圈式振动加速度传感器对１００Ｈｚ　以上的振动信号已没有了采集作用，后面的幅频特性图对比更能说明这一点。 2，压阻式和动圈式振动加速度传感器计信号采集特性和幅频特性对比 图 5，动圈式振动加速度传感器计信号采集特性曲线: 图6，压阻式振动加速度传感器计信号采集特性曲线: 上二幅信号采集特性曲线图，图5，图例，横轴 单位为时间 秒，纵轴每格为10毫伏，两传感器计在灵敏度相同的情况下，即本案灵敏度为每１ｇ输出１伏 时的信号采集特性曲线图对比。此 时两传感器计所处外环境相同，测量的是同一个人的步行振动信号。 从图例上可明显看出, 压阻式振动加速度传感器计采集到的振动信号比动圈式振动加速度传感器计采集到的振动信号内容丰富，后者有明显的信号丢失；而前者的信号幅度在环境等同条件下明显增强。虽然作为无源传感器 的机械动圈式振动加速度传感器的优点是噪音低，这 上对比图上也可明显的反应了出来，但信噪比，压阻式振动加速度传感器计 比动圈式振动加速度传感器计 却大的多，有6