第13章：探讨洁净车间等级标准要求.pdf

纯臻净化工程 探讨洁净车间等级标准要求 air cleanliness class 洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度 限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。洁净空间单位体积空气中，以大于 或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。世界各国均有自定规格，但普 遍还是用美国联邦标准209 为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介 绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净车 间等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准 化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中 0.5μm之微尘粒子数目字以10 的幂次方 表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5…. 表示。美国联邦标准FS209D 都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立 方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class8，以每立方公尺中微尘粒子总 数中化为10 的幂次方，取其指数而得。净化等级一般分为100 级、1000 级、10000 级、 100000 级，现在2010 年版的GMP 净化车间已经不用这个叫法了，分为ABCD级别，分 别相对应于98版的几个级别，通过检测区域内的尘埃粒子数、浮游菌数、沉降均数评价净 化级别，各个级别有不同的要求，净化等级分静态、动态两种。 一、洁净车间的空气洁净度，应进行下列测试 (一)空态、静态测试 空态测试：洁净车间已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和 生产人员的情况下进行测试。 静态测试：洁净车间净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生 产人员的情况下进行测试。 (二)动态测试洁净车间已处于正常生产状态下进行测试。 洁净车间的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关 规定执行。 二、空态、静态测试 (一)测试前的准备 1、应对洁净车间及其净化空气调节系统进行彻底清洁。 2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上 风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000 粒/升。 如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气 过滤器2--3 厘米处，可以2～4 厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处 和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/ 分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。 (二)测试内容 1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等; 2、洁净车间压力值; 3、层流洁净车间断面风速和气流流向; 4、洁净工作区的洁净度; 5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试; 6、洁净车间内噪声。(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5 微米 的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采 用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法： 纯臻净化工程 1、光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1升。l，000级-l0，000级： 每次采样量大于或等于0.3升。100，000级：每次采样量大于或等于0.1升。对于100级 洁净车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时，可采用每次采样量不小 于1升的粒子计数器。 2、采样注意事项： (1)采样管必须干净，连接处严禁渗漏。 (2)采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。 (3)采样管口的流速，宜与洁净车间断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。 (4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。 3、测点布置 (l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米 (2)层流洁净车间测点总数不小于20点，测点间距为0.5～2.0米，粒径大于或等于0.5微 米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净车间测点仅布置在第一洁净工作区内。 (3)乱流洁净车间可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图