薄膜技术-1、引言及真空技术基础.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * X-射线分为： 荧光x-射线（特征谱），与元素有关， 用于分析成分，即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX： 用检测器 限于分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.1%，有时相近元素峰峰相互重叠。 分析速度快 2）WDX：用检测器 可分析11（Na）或5（B）号以上元素， 灵敏度达0.01%。可分辨相近元素 分析速度慢 * X-射线分为：