超精密切削加工之气静压主轴技术.PDFVIP

機械亮點專欄 超精密切削加工之氣靜壓主軸技術 徐紹煜 / 林玉堃 / 郭宇傑 工研院機械所 先進製造技術組 精密光電設備部 前言 ：傳統以微孔節流之氣靜壓主軸有剛性不足與易產生氣槌振動之缺點，不利於超精密加工。工研 院機械所在工基「高階製造系統」第一期程計畫以多孔質氣靜壓軸承為核心，建立氣靜壓主軸之設計 分析、多孔質材料製作與性能驗證技術。提升氣靜壓主軸之剛性與穩定性，將氣靜壓主軸應用於超精 密切削加工。 本計畫開發可應用於超精密切削加工機之 d. 剛性：徑向≧50 N/μm ，軸向≧90 N/μm (供氣 高剛性氣靜壓主軸，主要的加工工件鎖定在精微 壓力：4 bar ，氣隙約10 μm) 。 模具與光學模仁的超精密高速銑削加工；超精密 e. 迴轉精度≦0.5 μm 。 銑削加工以輕切削為主，要求的是型狀精度與鏡 d. 刀把形式：HSK-40E 面加工(Ra ≦0.2μm) ，因此主軸的迴轉精度與剛 f. 自動