微悬臂振动干涉测量非正交信号的处理算法-中国机械工程.PDF

中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月 27 4 2016 2 微微悬臂振动干涉测量非正交信号的处理算法 王选择 孔德靖 翟中生 暋 暋 , , 湖北工业大学 武汉 430068 : , 摘要 设计了干涉条纹形状对悬臂角度变化不敏感的干涉光路系统 针对实际干涉条纹光电转换信 , 。 号的特点 提出了对难以保证正交化的两路信号进行实时椭圆拟合的方法 应用椭圆拟合及换算参数 , 。 , , 的结果 推导了干涉条纹相位变化的理论公式 最后 根据相位量与振动位移量的关系 以及振动位移 , , 。 , 连续性的特点 通过直接解包裹的衔接算法 得到了最终振动位移量 实验表明 该方法在保证足够采 , , 。 样频率的条件下 无需额外硬件计数电路 就能完成微悬臂振动位移的干涉量级精度的测量 : ; ; ; ; 关键词 测量 微悬臂 相位差 椭圆拟合 相位解包裹 中图分类号: : / TH744.3暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004飊132X.2016.04.004 j AProcessin AlorithmofNon灢orthoonalSinalsforMicro灢cantilever g g g g VibrationInterferometrMeasurement y Wan Xuanze暋Kon Dein暋ZhaiZhonshen g g jg g g , , HubeiUniversitofTechnolo Wuhan430068 y gy : AbstractThis aerdesinedinterferencemeasurementsstemwhichthestrieshaewasless pp g y p p 暞 sensitivetocantileverschanin anles.Thenanalsin thecharacteristicsoftwo hotoelectricre g g g y g p