制备条件对tio2薄膜结构和光学性能的影响 effects of preparing conditions on structure andoptical property of nano tio2 thin films.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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制备条件对tio2薄膜结构和光学性能的影响 effects of preparing conditions on structure andoptical property of nano tio2 thin films.pdf

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制备条件对tio2薄膜结构和光学性能的影响 effects of preparing conditions on structure andoptical property of nano tio2 thin films

第26卷第9期电子元件与材料 V01．26No9 2007年9月 ELECTRONICCoMPoNENTSANDMATERIALS SeD．2007 制备条件对Ti02薄膜结构和光学性能的影响杨玲，王华，袁昌来，任明放，许积文 (桂林电子科技大学信息材料科学与工程系，广西桂林541004) 面结构和紫外及可见光吸收性能的影响。结果表明：pH为7时有利于Ti02由锐钛矿向金红石相转变，薄膜的孔隙度为94nm，有较高的表面粗糙度。pH值升高，Ti02薄膜的孔隙度和颗粒度增大；热处理温度升高，薄膜的紫外吸收发生红秽，可见光波段透射率降低，故最佳热处理温度为500℃。关键词：无机非金属材料；1j02薄膜；sol—gel法；pH值；热处理；结构与性能中图分类号：TB34 文献标识码：A 文章编号：100l一2028(2007)09—0051-04 of onstructure Ef＆cts conditions and preparing of thin6lms nano optical Ti02 property YANG Ji-wen Lin舀WANGHua，YUANChang—Iai，RENMin-fan昏XU science ofElectmIlic (Dep【ofInf0瑚anonMate血l Technology，Guilin541004，Guangxi andEngineed“昏GuilinuniVersity zhu∞gz【lzizhiqu，Chi∞) tIlin61mswerefabdcatedthe InethodTheinnuencesof and山eheat Abst阳ct：Micropomus砸02 by sol—gel pH stmcture ofnlmswem con盯olme v“ueofsolandthe treatment and tel“peratu陀on opticalpropeny identined．By pH 0f andtmnsIIlinance heat Uv_vis treatr眦nt，the打crystalstrI蚓mre，grainsize，suffacemorPhologies粕dabsorption temperature 10 at nlms were resul拓indica把thatof hasatrendof f如manatasemtile 1102 pH=7