状态激励轻敲模式原子力显微镜的设计与仿真 design and simulation of state-oscillated tapping mode atomic force microscope.pdfVIP

第30卷第l期 电子显微学报 V01．30．No．1 2011年2月 ofChine8eElectron 20llm2 Joumal Micr08copySociety Jo001舶 文章编号：l伽lo与28l(20¨)01 状态激励轻敲模式原子力显微镜的设计与仿真 华宝成1…，钱建强2”，姚骏恩2·3 (北京航空航天大学1．仪器科学与光电工程学院，2．物理科学与核能工程学院， 3．微纳测控与低维物理教育部重点实验室，北京100191) 摘要：为轻敲模式原子力显微镜设计了一种激励方式。在带有状态反馈的轻敲模式原子力显微镜基础上。除去 原有的外加激励信号而引入一个自动增益控制环节，用于维持状态反馈信号的幅度恒定，并将此信号作为悬臂振 动的激励信号。该激励方式即为状态激励。用于轻跛模式时可称为状态激励轻敲模式原子力显微镜。采用 Matlab／Simulink工具实现了对状态激励轻致模式原子力显饭镜系统的建模和数值仿真。起振由线证明了状态激励 信号能够驱动悬臂振动并调整其工作频率；逼近曲线、线扫描曲线等典型功能仿真实验证明了状态激励方式能够 成功地应用于轻敲模式成像。 关键词：原子力显微镜；轻敲模式；状态激励；数值仿真 中圈分类号：TP391．9；TGll5．2I+5．9文献标识码：A 轻敲模式原子力显微镜(TM-AFM)又称幅度调实现状态反馈需要在TM—AFM装置的基础上增加 制原子力显微镜，是目前应用最为广泛的纳米尺度 移相放大电路。移相放大电路可由简单的模拟芯 的显微分析方法和操作手段之一¨订】。在TM-AFM片构成，结构简单。 中，悬臂被激励在其共振频率附近振动。当悬臂接 近年来出现的数值仿真法是继实验法、解析法 近样品表面时受到来自样品的作用力使其振幅减 之后的一种原子力显微镜原理分析方法，又称虚拟 小，将悬臂振幅作为反馈参数，通过调整悬臂与样品 原子力显微镜¨引。该方法用于对原子力显微镜系 间的距离来维持悬臂振幅恒定，在样品表面逐点记 统进行原理、性能分析，既能避免实验法中多种因素 录调整量就得到了样品表面三维形貌。TM-AFM已 间的相互干扰使分析更有针对性，又能弥补解析法 广泛应用于大气和液态环境下，得到了无机物表面 中不能体现系统动态过程的缺陷，因此得到了越来 的原子像和DNA、病毒等生物分子的高分辨率图 越广泛的应用¨“¨】。虚拟原子力显微镜不仅有助 像卜”。。在TM-AFM装置中，为了给悬臂一个恒幅 于研究悬臂的动态特性，还能为原子力显微镜的新 激励，通常需要一个信号发生电路。信号发生电路 技术提供理论验证和技术指导。 多由DDS等数字芯片及外围电路构成，较为复杂。 ，本文提出了TM．AFM的一种状态激励方 在TM-AFM中，悬臂的品质因数影响着成像的 式——在带有状态反馈的TM．AFM基础上，除去原 灵敏度和带宽。为了改善系统的性能，出现了通过 有的外加激励信号，并引入一个自动增益控制环节， 辅助电路来调节悬臂等效品质因数的Q控制技 用于维持状态反馈信号的幅度恒定，仅靠状态反馈 术¨川。其原理是将悬臂的振动信号经过移相放 信号激励悬臂振动。该方法能够改进传统TM·AFM 大后加到悬臂振动的激励信号中。在增加系统带 装置，使其不再依赖信号发生电路，提高了TM—AFM 宽和提高系统灵敏度方面Q控制技术已经取得了 系统结构的紧凑性。通过对状态信号的调节能够实 显著成果¨’”’…。在此基础上的状态反馈是将悬 现对悬臂