自动聚焦在激光诱导击穿光谱检测中的应用 the application of auto-focusing system in the libs techniques.pdfVIP

自动聚焦在激光诱导击穿光谱检测中的应用 the application of auto-focusing system in the libs techniques.pdf

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自动聚焦在激光诱导击穿光谱检测中的应用 the application of auto-focusing system in the libs techniques

第39卷第6期 光电工程 %1.39,No.6 2012年6月 Opto-E1ectronicEngineering June,2012 文章编号:1003—501x(2012)06一0080一05 自动聚焦在激光诱导击穿光谱检测中的应用 郑 毅,周卫东,李科学,钱惠国,李霞芬,秦雪飞 (浙江师范大学信息光学研究所,浙江金华32l004) 摘要:本文将自动聚焦方法应用于激光诱导击穿光谱(LIBs)检测技术中,利用自动聚焦方法控制激光在样品表面 的聚焦位置和焦斑大小,以克服激光诱导击穿光谱系统检测样品时光谱强度的起伏变化较大的缺点,提高LIBs 系统重复测量的精密度.并采用友度差分法评价函数和改进后的爬山法成功实现了激光诱导击穿光谱技术检测中 焦.点位置的自动搜寻和调节,为LIBs检测仪开发了一套自动聚焦系统和相应的软硬件,较好地减小了LIBS光谱 强度多次重复测量的相对标准偏差。 关键词:LIBs检测技术:自动聚焦:信号稳定性 中图分类号:0433.4 文献标志码:A The 0f in ApplicationAuto-focusingSystem theLIBS Techniques ZHENGYi,ZHOU Ke-xue, Wei-dong,LI Xue-fei QIANHui—guo,LI)(ia-fen,QlN (加舭耙矿坳ⅢⅡffDH印f洒,动掣口昭Ⅳ。瑚Ⅱ儿hfw糟f纱,坍砌凇321004,劢∥幻增尸阳V加卯,o拥口) the oft11e va五alionof mLaserInducedBreakIown Abstract:Ino州髓t。overcome shortagelarge spectmmi11tensity tenn to the in oftherelativcstalldardde“alionoftkliⅡe Spectro∞opy(LIBS)锄dimprovemeasuremellt∽curacy measllred is intotheLIBS anduscdto system intcns时f如mrepeating spec仇lm,趾auto—focusinginte粤钒ed technique con们Ithesizeand oftheIaserfocusonthe surfke.Basedonthe level method posi石on sample gray di任毫rence棚1ysis hardw盯eaIld and惦ed 枷damodified soRware,is hill-cIimbingalgonthrn,anauto—fbcusingsystem,including deVeloped

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