自动微分法求解粒子光学像差的精度分析 precision analysis of optical aberration of particles calculated by automatic differentiation.pdfVIP

第4期 微细加工技术 №．4 2007年8月 MICROFABRICATl0NTECHNOLOGY Aug．-2007 自动微分法求解粒子光学像差的精度分析 李文萍1一，顾文琪1 (1．中国科学院电工研究所，北京100080；2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：将自动微分算法扩展到实际非解析场时会出现误差，从算法原理和具体实现的过程中分析了 误差的来源及其相应的减小措施，提出用高稳定性的三次样条曲线插值将数值求解的场解析成任 意节点处的场及其各阶导数，可以直接进行轨迹追踪。改进后，自动微分法处理实际场的最大相 对误差为6．40146×10-3，计算结果和Munro软件设计的一致，并且消除了传统像差在计算过程 中用高斯轨迹取代实际轨迹引入的误差，能够满足高性能粒子光学设计的实际需要。 关键词：自动微分；误差分析；有限元素法；样条函数 中图分类号：TN305．7 文献标识码：A 无法写出解析表达式，从数值解到解析解的转化过 1 引言 程中不可避免地存在偏差，这就造成了粒子光学理 论设计和生产实现之间不相符。为了能更好地指导 随着ULSI规模的扩大和MEMS的兴起，电子生产实践，必须对像差计算过程中可能出现的误差 束光刻技术和离子束加工技术得到了很大的发 进行分析，以便减小或者消除它们。 展…，所以对带电粒子聚焦系统的性能提出了更高 本文首先探讨了自动微分计算高斯轨迹和三阶 的要求。近年来发展起来的正则理论、张量分析和 像差系数的原理，接着从算法实现的具体过程中分 Lie代数等方法，虽然在分析带电粒子聚焦系统方面 析出误差的来源：运动方程的系数误差和求解常微 大大简化了复杂系统高阶像差的推演和表述，但是 分方程组的数值算法误差，并提出了减小误差的方 在数值计算上仍无较大的突破。自动微分 法。采用二阶有限元素法求解出节点处的电(磁)位 后，通过样条函数法进行插值拓展使其成为解析表 (automaticdifferentiation，AD)技术是计算机数值与 分析领域内一项崭新的技术，为带电粒子光学系统 达式，可方便准确地获得各阶导数。为了提高微分 的像差分析提供了一个非常有效的工具。自动微分 方程解的精度，四阶龙格．库塔法的步长选为 技术以A．Robinson的“非标准分析”理论为基础，既10一mm。最后以四电极静电透镜为例，研究了改进 摒弃了解析求导繁琐的推导过程，又没有传统数值 后自动微分法处理实际场的性能。 微分方法的截断误差和舍入误差，因此一经出现就 引起了人们的极大兴趣【2-3]。上个世纪末，西安交2 自动微分法直接轨迹追踪的原理 通大学的唐天同教授等人将自动微分算法应用到电 子光学的像差计算中，大大减小了像差计算的工作 自动微分技术的基本原理以延拓数代数 量[41。自动微分算法本身虽然没有算法误差，但是 (pronumberalgebra)为基础。对于任意一个光滑的 在求解运动轨迹的算法中存在误差，并且电子加速 函数，f：Ry—R，定义其“延拓结构” 枪和聚焦离子束等细束粒子光学设计中多数电磁场 V vf，厂，Vvf，…)，其 (prolongation)，=vf，V 收稿日期：2007．01．16 作者简介：李文萍(1976一)，女，山东人，博士，主要从事聚焦离子束光柱体的研究；顾文琪(1941一)，男，上海