自旋阀结构薄膜及其自由层的特性研究 study on the characteristic of spin valve film and its free layer.pdfVIP

自旋阀结构薄膜及其自由层的特性研究 刘鹏 (清华大学微电子学研究所北京100084) 摘要：基于自旋阀结构的磁传感器因其优良的性能，在传感器家族中具有越来越重要的地位。在自旋阀 磁传感器的研制过程中，自旋阀薄膜的制备与性能优化是其中最为重要的一个环节．具有优良特性的 自旋阀薄膜是制造高性能自旋阀磁传感器的重要基础．本文介绍了自旋阀薄膜的特点和性能参数，介 绍了自由层对自旋阀性能的影响，并介绍了如何通过改进自由层结构对自旋阀薄膜的性能进行优化． 关键词：自旋阀；自由层；磁电阻率；矫顽力 ontheCharacteristicof FilmandIts Valve Free Study Spin Layer LIU Peng of (InstituteMicroelectronics，TsinghnaUniversity，Beijing，100084) sensorsbasedon valvestructurebecomemoreandmore inthesensor be— Abstract：Magneticspin important family causeoftheir theresearchand of sensorsbasedon valvestrue- goodperformance．Duringdevelopmentmagnetic spin most isthe and of valve valve ture，the importantstep preparationoptimizationspin film．Spinmagnetic valve will arebasedonthe filmwith introducethe per酗rmance．This highpedormance spin higIl paper and of valvefilmandintroducethe of valveonfree alsointroduce layer．This parametersspin dependencyspin paper the offree the of valvefilm． optimizationlayer,whichimprovesperformancespin valve；freelayer；MagnetoresistanceRatio；coercivity Keywords：spin 1 引言 变化，并且可以通过设计将电流、位移、角度、线速 度、角速度、加速度等物理量转化为磁场量进行高精 自从1991年自旋阀结构被提出之后【”，基于这度的检测。所以，基于自旋阀结构的磁传感器在磁存 一结构的磁传感技术就越来越受到人们的关注。由 储技术、电子测量技术、汽