精密和超精密机械加工及精密进给机构的研究.pdfVIP

激协、讲摩、嚼，意 精鲁和越精窑相似彻工段精 鲁炖给机构的研究 彭晚伟 1 萤志毅2 (1辽宁曙光汽车集团股份有限公司 2 辽宁黄海汽车(集团)有限责任公司) 摘要论述了精密和超精密加工的范畴及加工方法，指出了加工的关健技术，对新型超精密进给机构进行了研究。 关键词:精密加工超精密加工关健技术避给机构 Precision and ultra-precision machining and pr四ison feeding mechanism r臼earch Abstract: It discusses the categoηof precision and ultra-precision machining and manufacture methods , points out the key technology of manufacture ,and does research on the new type of ultra-precision feeding mechanism. Key words: precision machining;ultra-precision machining; key technology; feeding mechanism 零件的加工技术，他们是针对集成电路的制造要求而 精密和超精密加工技术近年来获得了飞跃发展， 提出的，由于尺寸微小，其精度是用切屑量的大小来 从一般精度加工、精密加工、超精密加工发展为纳米 加工技术，并逐渐接近加工精度和表面质量的极限， 表示的，而不像一般尺寸加工是用加工尺寸与尺寸误 代表了当今先进制造技术的一个重要方面。因此，精 差值来表示。 密和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段，由 光整加工技术是指降低表面粗糙度和提高表层 于生产制造技术的不断发展，划分的界限将随着历史 力学及机械性能的加工方法，不强调加工精度的提 进程而逐渐向前推移，其划分界限是相对的，并且在 高。 具体的精度值上至今没有确切的定义。 1.2 精密和超精密加工的特点 a. 形成了系统工程。精密和超精密加工是一门多 学科的综合技术，要达到较高的精度和表面质量，不 1 精密和超精密加工的范畴及特点 仅要考虑其加工方法而且要考虑被加工材料、加工 设备及工艺装备、检测方法、工作环境和操作人员的 1.1 精密加工的范畴 操作水平等方面因素。精密加工技术与系统论、方法 精密加工是指加工精度为 1-0.1μm、表面粗糙 论、计算机技术、信息技术、传感器技术、数字控制技 度 Ra 为 0.1-0.01μm 的加工技术，超精密加工是指 术的结合促成了精密加工系统工程的形成。 加工误差小于0.1μm ，表面粗糙度 Ra 小于 0.025μm b. 精密、超精密加工与微细、超微细加工关系。微 的加工技术，又称之为亚微米级加工。但目前超精密