染色体切割宏动系统标定和动力学的分析研究.pdfVIP

Master Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University CALIBRATION AND DYNAMIC RESEARCH OF CHROMOSOME DISSECTION MANIPULATOR Author: Qinglin Bian Specialty: Mechanical Design and Theory No: 1070209118 Supervisor: Prof. F. Gao Inst. of Design and control Eng. for Heavy Equipments School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University February, 2010 染色体切割宏动系统标定和动力学研究 摘 要 微纳米技术的迅猛发展使得研究对象不断微细化，在光学、超精密加工及测量、 生物工程、医学工程、微机电系统(MEMS)装配作业等领域都需要微操作系统的参与， 微操作系统因而具有广阔的应用前景。 随着科技的发展，这些领域对所应用的微操作系统提出了更高的要求，特别是运 动精度、响应速度、力感觉、可控性、灵活性等方面的要求越来越高。对于微操作任 务来说，在关注纳米级高精度定位的同时，还要兼顾微米级的大范围宏动定位。针对 上述情况，国内外学者对宏/微双重驱动系统进行了一系列的研究，并取得一定的成 果。 本文从运动学正反解、速度与加速度分析、宏动系统的静刚度分析、精度分析与 标定、动力学建模与控制策略、含间隙机构动力学等问题进行深入的探讨研究。 在标定方面，推导了宏动台的正反运动学求解。在此基础上建立标定模型确定影 响精度的结构尺寸误差，然后对原先的运动学模型进行修正，就是把修改后的结构尺 寸替代之前的不精确的结构尺寸；这样逐步降低末端的运动误差，提高仪器的运动精 度。 在宏动系统的静刚度分析方面，摒弃一般的求刚度矩阵或者柔度矩阵的办法，简 化问题，直接求出外力作用下系统的位移大大提高了效率。 在动力学建模与控制方面，用 Kane 方法建立了宏动系统的动力学模型，用 matlab 进行动力学仿真；之后又做了基于动力学模型的滑模变结构控制仿真，发现变结构仿 真在处理模型的不精确性和不确定性方面有良好的效果。 在考虑间隙的非线性动力学建模这方面，建立了仅考虑接触与自由两种状态的运 动微分方程组和基于连续接触模型的运动微分方程组；在模型的求解方面，采用逐步 积分法来求解系统动力响应；收到良好的效果。 关键词：并联机构，标定，染色体切割，精度分析，位姿测量，变结构控制，刚度 第 I 页 CALIBRATION AND DYNAMIC PERFORMANCE RESEARCH OF THE PARALLEL 6-DOF MANIPULATOR ABSTRACT The rapid development of micro-nano-technology is refining the research subjects continuously. Micromanipulation System is needed in all kinds of areas such as optical, ultra-precision machining and measurement, biological engineering, medical engineering, micro-electro-mechanical systems (MEMS) assembly operation. A