08第八章薄膜的结构与缺陷.doc

第八章 薄膜的结构与缺陷 薄膜的结构与缺陷在一定程度上决定着薄膜的性能，因此对薄膜结构与缺陷的研究一直是大家十分关注的问题，在本章中我们将讨论这些问题。 §8-1 薄膜的结构 薄膜结构因研究对象不同可分为三种类型：组织结构、晶体结构和表面结构。 一、薄膜的组织结构 薄膜的组织结构是指它的结晶形态。分为四种类型：无定形结构、多晶结构、纤维结构和单晶结构。 1. 无定形结构 从原子排列情况来看它是一种近程有序结构。就是在2～3个原子距离内原于排列是有秩序的，大于这个距离其排列是杂乱无规则的。这种结构显示不出任何晶体的性质。这种结构有时称为非晶结构或玻璃态结构。形成无定形薄膜的工艺条件是降低吸附原子的表面扩散速率。可以通过降低基体温度、引入反应气体和掺杂方法实现上述条件。对于硫化物和卤化物薄膜在基体温度低于77K时可形成无定形薄膜。有些氧化物薄膜（如TiO2、ZrO2、Al2O3等），基体温度在室温时都有形成无定形薄膜的趋向。引入反应性气体的实例是在10-2～10-3Pa氧分压中蒸发铝、镓、铟和锡等超导薄膜，由于氧化层阻挡了晶粒生长而形成无定形薄膜。在83%ZrO2-17%SiO2和67%ZrO2-33%MgO的掺杂薄膜中，由于两种沉积原子尺寸的不同也可形成无定形薄膜。 无定形结构薄膜在环境温度下是稳定的。它不是具有不规则的网络结构（玻璃态），就是具有随机密堆积的结构。前者主要出现在氧化物薄膜、元素半导体薄膜和硫化物薄膜之中，后者主要出现在合金薄膜之中。可以认为，不规则的网络结构是两种互相贯通的随机密堆积结构组成的。这些随机结构的特征是存在着连续不断的、严格的缺乏长程有序性。用衍射法研究时，这种结构在x射线衍射谱图中呈现很宽的漫散射峰，在电子衍射图中则显示出很宽的弥散形光环。 2．多晶结构 多晶结构薄膜是由若干尺寸大小不等的晶粒所组成。在薄膜形成过程中生成的小岛就具有晶体的特征（原子有规则的排列）。由众多小岛聚结形成薄膜就是多晶薄膜。用真空蒸发法或阴极溅射法制成的薄膜，都是通过岛状结构生长起来，必然产生许多晶粒间界形成多晶结构。 在多晶薄膜中，常常出现一些块状材料中未曾发现的介稳相结构。例如在ZrO2薄膜中常存在着介稳四方相。当四方相朝单斜相转变时伴随有4%的体积膨胀，在ZrO2中掺入Y2O3后可防止介稳相产生而形成稳定的立方相。形成介稳相的原因可能是沉积工艺条件、基体、杂质、电场和磁场等引起的。但通过退火热处理可使介稳相转变稳定的正常结构。 多晶薄膜中不同晶粒间的交界面称为晶界或晶粒间界。晶界中的原子排列状态，实际上是从一侧晶粒内的原子排列状态向另一侧晶粒内原子排列状态过渡的中间结构。由此，晶界是一种“面型”的不完整结构。从而显示出一系列与晶粒内部不同的特征。 （1）由于晶界中晶格畸变较大，因此晶界上原子的平均能量高于晶粒内部原子的平均能量，它们的差值称为晶界能。高的晶界能量表明它有自发地向低能态转化的趋势。晶粒的长大和晶界平直化都能减少晶界面积，从而降低晶界能量。所以只要原子有足够的动能，在它迁移时就出现晶粒长大和晶界平直化的结果。 （2）由于晶界中原子排列不规则，其中有较多的空位。当晶粒中有微量杂质时，因它要填入晶界中的空位，使系统的自由能增加要比它进入晶粒内部自由能征。所以微量杂质原子常常富集在晶界处，杂质原子沿晶界扩散比穿过晶粒要容易得多。 多晶薄膜中晶粒间界处原子扩散问题是薄膜物理研究的一个重要内容。其中包括建立解析数学模型和实验技术等。 3．纤维结构 纤维结构薄膜是晶粒具有择优取向的薄膜。根据取向方向、数量的不同又分为单重纤维结构和双重纤维结构。前者是各晶粒只在一个方向上择优取向，后者则在两个方向上有择优取向。有时前者称为一维取向薄膜，后者称为二维取向薄膜。一维取向薄膜可能具有二维同性一维异性的特点。二维取向薄膜在结构上类似于单晶，它具有类似单晶的性质。 在非晶态基体上，大多数多晶薄膜都倾向于显示出择优取向。由于[111]表面在面心立方结构中具有最低的表面自由能，在非晶态基体上这种结构的多晶薄膜显示的择优取向是[111]。可以预期，在非晶态基体上六角形密堆积多晶薄膜显示[0001]，体心立方结构的多晶薄膜显示[110]择优取向。 在玻璃基体上的ZnO压电薄膜是纤维结构薄膜的典型代表。这种薄膜具有优良的压电性能与各微小晶的取向基本相同有关。这种薄膜中属于六方晶系的各个微晶的C轴都垂直于薄面或基体表面择优取向。具有择优取向纤维结构的几种压电薄膜的特征如表8-1所示。 在薄膜中晶粒的择优取向可发生在薄膜生长的各个阶段：初始成核阶段、小岛聚结阶段和最后阶段。若吸附原子在基体表面上有较高的扩散速率，晶粒的择优取向可发生在薄膜形成的初期阶段。在起始层中原子排列取决于基体表面、基体温度、晶体结构、原予半径