大学物理学本科毕业《等色干涉测薄膜厚度》任务书与开题报告.docVIP

***学院本科毕业论文（设计）任务书 论文（设计）题目：等色干涉测薄膜厚度 学生姓名 ** 学号 * 专业班级 * 指导教师 ** 职称 * 论文（设计）起止时间 * 课题类型 指导老师承担的科研课题 主 要 任 务 课题意义（课题意义、技术路线、任务与进度要求、主要参考） 薄膜技术是当前材料科技的研究热点，纳米级薄膜迅猛发展，精确、快速地测量薄膜的厚度至关重要。因此选择一种恰当的方法测量薄膜厚度不可小视。应用等色干涉原理测量薄膜厚度具有测量结果精度高、测试系统较为简单、对膜面积要求较小、对薄膜无损坏等优点。等色干涉属于薄膜干涉，是光波叠加引起强度在空间的重新分布。用白光照射薄膜，获得相应的等色干涉条纹，根据干涉条纹和已知参数，从而计算出薄膜的光学厚度。该技术具有很强的实用性，可以应用到许多镀膜工艺的鉴定和实时监测上。 技术路线 以等色干涉原理为基本思想，以聚光透镜、待测膜、光源、FGY-01型分光仪、WGD-8A型组合式多功能光栅光谱仪、计算机等为主要设备，设计一种简单、实用、误差较小的光路，以具有连续光谱的白光作为光源，照射薄膜，从薄膜两表面反射出来的两束光产生干涉，一些波长的光干涉相长，一些波长的光干涉相消，光谱中将呈现一些暗带。如果折射率、薄膜厚度、入射角为固定值，利用膜干涉程差公式，通过对干涉条纹数与波数的测量，计算出膜的厚度。与其它测量薄膜厚度方法做对比，比较其优缺点。 任务与进度要求 1填写论文进度书（11月15之前） 2写好开题报告（11月15-11月30） 3搜集和查阅资料，做实验（2月份-3月份） 4撰写论文，结题（4月份） 主要参考文献 1 易明.光学M北京：高等教育出版社.1999. 2 李建民，王增波，南景宇等.基于等色干涉的膜分析.物理实验.2006.7 3 魏杏芳.利用等色干涉原理测量薄膜厚度.甘肃高师学报.2007. 教研室意见 负责人签字： 年 月 日 学院意见 负责人签字： 年 月 日 *学院 毕业论文（设计）开题报告 题 目： 等色干涉测薄膜厚度 姓 名： * 院 系： 理学院物理系 专 业： 物理学 年 级： 学 号： 指导教师： * 开题时间： * 河北北方学院教务处制 论文题目 等色干涉测薄膜厚度 课题来源 指导教师承担的科研课题 研究方向 应用等色干涉原理获取薄膜参量 报告内容： 一、立题依据（研究的目的与意义） 一般测量薄膜厚度的方法为迈克尔逊干涉仪法、椭圆偏振法、X射线干涉法等。这些方法要么测量系统复杂，要么对干涉条纹的清晰度要求高，且对膜面积要求较大。利用等色干涉原理，用连续光谱的白光作光源，设计一个较为简单的光路图，即可对薄膜各个部位进行厚度测量，且克服了以上测量薄膜的多种弊端。目前薄膜材料应用前景广阔，而且利用等色干涉原理测量薄膜厚度的研究尚处于起步阶段，未来具有相当大的研究空间，这对物理科研，医学仪器的研制等方面有重大的意义。 二、研究内容(内容、结构框架或研究提纲以及要突破的难点)： 1、利用等色干涉原理，设计出合理的光路图，通过对干涉条纹的分析提取数据，应用膜程差公式，测出膜的厚度。 2、设计光路图时，应选取适当的仪器，尽量减少实验误差，增大可测量膜厚度的范围，使等色干涉的优点得到发挥。 3、白光要平行；入射光垂直照射薄膜；条纹要清晰，光谱范围要宽。 4、尽量减少外界环境对测量结果的影响。 三、研究方法与技术路线 1、以光源、分光仪、光谱仪、聚光透镜、数码照相机、计算机等组建系统。 2、实验分两期进行。第一期用分光仪做光谱仪器对干涉条纹角位置进行测量，用数码相机拍摄干涉图样；第二期用光谱仪，并用计算机分析。 3、以等色干涉原理为研究方法，利用膜干涉程差公式，通过对条纹数和波数差的测量，计算膜厚。 4、将实验装置的各个部分放到恰当位置，尤其注意物象关系。保证数提取准确快速。 四、研究过度安排 1填写论文进度书，跟老师讨论问题，解决问题。（11月5之前） 2研究课题，深入了解课题意义，写好开题报告（11月5-12月7） 3搜集和查阅资料，设计实验，做实验（2月份-3月份） 4写好论文，结题（4月份） 五、预期研究结果 1、透