大直径6寸区熔硅单晶工作报告.docVIP

工 作 报 告 大直径6寸区熔硅单晶的研制 目 录 一 、项目承担单位及项目负责人简介 二、 立项背景 三、 该技术国内外现状 四、 项目实施技术路线 五、 项目实施的效果 六、 项目的预期前景 一 、项目承担单位及项目负责人简介 1、项目承担单位简介 半导体材料技术有限公司是有限责任制公司，其前身半导体材料厂是我国最早的半导体材料专业生产厂家之一, 拥有40余年的半导体材料生产历史和专业经验,现有职工138人；公司具有较强的新产品研发能力，技术人员占员工总数的40%以上，其中正高级工程师2名，高级工程师5名，工程师15名。2000年9月, 公司被天津市高新技术产业园区管委会认定为高新技术企业。 目前公司经营的产品全部由公司独立开发和生产，形成了以直拉硅单晶、区熔硅单晶、直拉硅片、区熔硅片四大系列产品。是国内同行业企业中硅单晶种类齐全的少数几家之一。 公司企业资产总值5982万元。资信等级被中国农业银行评定为AA。企业的经营规模和效益从1999年以来连续3年以40%以上的高速度增长，2003年销售收入达到了5800万元，实现利润1200万元，同比经济效益在全国同行业中名列前茅。 公司按ISO9001 2000版的标准建立的质量管理体系，通过了中国电子质量认证中心的审核认证（见认证证书）。近期为加强物流管理，公司正在实施ERP管理系统，实现对整个供应链的有效管理。技术进步和企业管理是环欧公司实现可持续发展的两大利器。 2、项目负责人简介 项目负责人，总经理，正高级工程师，授衔半导体材料专家。1983年毕业于兰州大学物理系半导体专业，自1983年7月至今一直从事半导体硅单晶的研发工作，在不同的刊物和学术会议上发表过数篇有关硅材料的学术论文。先后主持过数项重大的科研项目。例如：在1998年主持了CFZ硅单晶的研发工作，1998年，CFZ硅单晶新材料的发明被《中国生产力学会科学技术生产力专业委员会》和《科学技术成果生产力转化评价专家委员会》联合评价为中国科技成果生产力转化项目，2002年12月我公司就CFZ硅单晶的生产方法向国家知识产权局申请的生产发明专利已获授权。2000年主持了气相掺杂硅单晶的研制工作，目前我公司是国内唯一一家能够生产气相掺杂区熔硅单晶的企业。2003年成功开发了Φ5″〈100〉区熔硅单晶。 二、 立项背景 1、项目的意义 众所周知，当今的国际经济结构已逐步由传统的产品经济进入了知识经济阶段。人类社会已进入了信息时代和网络文明时代。在全球信息化的过程中，随着计算机、移动通讯（卫星通讯、微波通讯、光纤通讯）、宽带综合数字网通讯及INTERNET国际互联网技术的发展，全球信息高速公路逐步形成。而信息产业发展的基础电子信息技术都是以先进的半导体工业为核心和前导的，半导体工业的主要物质基础是半导体材料。今天，半导体材料已成为微电子技术、微波电子技术、光电子技术、电力电子技术、传感技术……等许多重大科技领域中最重要的主体功能材料。半导体材料产业的发展直接促进了信息产业的发展，并推进了人类社会的物质文明与精神文明渗透到了社会的每一个角落和每一个家庭，人类社会的每一个地方无不闪烁着半导体的光辉。值得指出的是半导体技术的发展带来了现代战争的革命，目前正在伊拉克发生的战争既是明证。因此，半导体工业以及半导体材料的发展水平已成为衡量一个国家的国力、国防、国民经济现代化及国民生活水平的重要标志。谁掌握了先进的半导体技术与先进的半导体材料，谁就掌握了发展高新技术的主动权。鉴于半导体工业及半导体材料在国家中这种战略地位，多年来各发达国家与地区都投以巨资发展半导体工业与半导体材料。 硅单晶材料是最重要也是最主要的半导体材料，至今国际上使用硅材料的数量仍占半导体材料的95%以上。多年来半导体材料技术有限公司致力于半导体材料的研发工作，尤其在区熔硅单晶的生产领域技术处于国内最先进水平，国际先进水平。但受限于生产规模，产品长期供不应求，而且随着我国一批国家重点大型和超大型水利、火力发电工程、地铁、轻轨、铁路工程的陆续开工此问题更将凸现出来。 硅单晶片）直接为国家重点工程——三峡工程的输变电工程配套。出口市场方面，从另一方面看：随着全球硅半导体材料行业的东移，给我国的半导体材料特别是行业带来了很大的机遇；比较直拉单晶行业，区熔单晶行业在自动化方面更难在工艺和生产过程中实现。因此，我公司现拥有的相对低薪但技术较高的人才优势将给公司带来更大的竞争优势。在短期内，在我国将区熔单晶行业快速的发展起来是有可能的，毕竟我国的区熔单晶行业总产量和销售额较国际同行业的大厂商有相当距离，这也是我们的发展空间。科技上Φ3″-Φ6″FZ/CFZ硅单晶、气相掺杂区熔硅单晶、超高纯FZ硅单晶是目前国际上最前沿的生产技术，产业化生产这类硅单晶不仅能为我国军工和科研机构