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有机分子修饰硅表面.pdf
第 20 卷 第 12 期 化 学 进 展 Vol . 20 No . 12
2008 年 12 月 PROGRESS IN CHEMISTRY Dec . , 2008
有机分子修饰硅表面
1 ,2 2 1 2
李 珩 温永强 杨青林 宋延林
( 1. 北京航空航天大学 材料科学与工程学院 北京 100080 ;
2 . 中国科学院化学研究所 有机固体重点实验室 北京 100190)
摘 要 硅作为一种重要的半导体材料 ,在微电子领域发挥着极其重要的作用 。有机单分子层修饰硅
表面是近年来硅表面化学领域的一个研究热点 ,引起了研究者的广泛重视 。以共价键嫁接在硅表面的有机
单分子层能形成稳定 、高质量的杂化连接 ,将赋予传统硅材料更多新功能 ,具有许多其他表面难以比拟的优
点 。本文针对有机分子修饰硅表面的方法 、单层膜的表征和应用 ,对近年来的最新研究进展进行了综述 ,并
对该方向今后的发展进行了展望 。
关键词 晶体硅 单层膜 有机分子 表面改性
( )
中图分类号 : O6499 文献标识码 : A 文章编号 : 1005281X 2008
Organic Molecule Modif ied Silicon Surface
1 , 2 2 1 2
L i Heng Wen Yongqiang Yang Qinglin Song Yanlin
(1. School of Materials Science and Engineering , Beij ing University of Aeronautics Astronautics , Beij ing 100080 , China ;
2 . Key Laboratory of Organic Solid , Institute of Chemistry , Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100190 , China)
Abstract Although a number of alternatives to siliconbased materials have been proposed , silicon remains the
basic material of electronic industry . Recently the research of silicon surface modified by organic molecules has become
the highlight in surface chemistry . Organic monolayers covalently attached on silicon surface present stable , reproducible
and wellcontrolled solid surfaces and possess many advantages compared with other surfaces , which will contribute more
functions to Sibased mater
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