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有机分子修饰硅表面.pdf

第 20 卷 第 12 期 化  学  进  展 Vol . 20 No . 12 2008 年 12 月 PROGRESS IN CHEMISTRY  Dec . , 2008 有机分子修饰硅表面 1 ,2 2 1 2 李  珩  温永强  杨青林  宋延林 ( 1. 北京航空航天大学 材料科学与工程学院 北京 100080 ; 2 . 中国科学院化学研究所 有机固体重点实验室  北京 100190) 摘  要  硅作为一种重要的半导体材料 ,在微电子领域发挥着极其重要的作用 。有机单分子层修饰硅 表面是近年来硅表面化学领域的一个研究热点 ,引起了研究者的广泛重视 。以共价键嫁接在硅表面的有机 单分子层能形成稳定 、高质量的杂化连接 ,将赋予传统硅材料更多新功能 ,具有许多其他表面难以比拟的优 点 。本文针对有机分子修饰硅表面的方法 、单层膜的表征和应用 ,对近年来的最新研究进展进行了综述 ,并 对该方向今后的发展进行了展望 。 关键词  晶体硅  单层膜  有机分子  表面改性 ( ) 中图分类号 : O6499  文献标识码 : A  文章编号 : 1005281X 2008 Organic Molecule Modif ied Silicon Surface 1 , 2 2 1 2 L i Heng  Wen Yongqiang  Yang Qinglin  Song Yanlin (1. School of Materials Science and Engineering , Beij ing University of Aeronautics Astronautics , Beij ing 100080 , China ; 2 . Key Laboratory of Organic Solid , Institute of Chemistry , Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100190 , China) Abstract  Although a number of alternatives to siliconbased materials have been proposed , silicon remains the basic material of electronic industry . Recently the research of silicon surface modified by organic molecules has become the highlight in surface chemistry . Organic monolayers covalently attached on silicon surface present stable , reproducible and wellcontrolled solid surfaces and possess many advantages compared with other surfaces , which will contribute more functions to Sibased mater

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