无尘室平面图-国立高雄第一科技大学.PDF

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无尘室平面图-国立高雄第一科技大学

微系統製造與實驗─無塵室簡介 1 National Kaohsiung First University of Sci. Tech. 無塵室介紹 Introduction of Cleanroom 李振榮 國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系 MicroSystem Fabrication Lab. NKFUST 無塵室平面圖 350 990 380 櫃 風 GDS 抽 清淨室 0 控 台 2 制 作 工 6 0 與 抽 黃光室 A/S 0 氣 2 模具中心 風 工 0 4 體 櫃 作 更衣室 辦公室 3 室 櫃 曝光機 桌 風 SEM 抽 0 200 330 430 8 會議室 2 精密加工實驗室 320 走 廊 530 280 金屬成形分析室 MEMS Lab.

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